Mavzu: kremniyda yig’ilgan nikel kirishmasini morfologik parametrlarni o’rganish

diffuziyalar qismli yoki umuman yo'q. O'qish
6
ustida iloji boricha ko'proq elementlarning adsorbsiyalangan atomlarining tarqalishi
kremniy yuzasi o'rtasida aloqa o'rnatilishiga yordam berishi mumkin
diffuziya mexanizmlari va xususiyatlari va bu elementlarning xususiyatlari.
21. s. M.HU
diffuziya bosqichlari. Turli diffuziya bosqichlarining elektrga aniq ta'siri
potentsial struktura subtractiv bo'lishi mumkin va o'zaro ta'sirlar bo'lishi mumkin
ketma-ket qadamlar o'rtasida. San'atning hozirgi holati
integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda diffuziya jarayonlari bir ga tayanadi
sinov va xato bilan empirik yondashuv. Bunday yondashuvning qiyinligi
diffuziya sonining ortishi bilan eksponent ravishda ortadi
qadamlar va tushunishni o'z ichiga olgan yarim empirik yondashuv
diffuziya jarayonlarining tafsilotlari muhim bo'lishi mumkin. hozirda mavjud
sanoatda kompyuter texnikasini rivojlantirish bo'yicha intensiv harakatlar
qurilmani optimallashtirishni o'z ichiga olgan integral mikrosxemalar dizayni
ning aniq tafsilotlari bilan chambarchas bog'langan ishlash
nopoklik taqsimoti va ularga erishish mumkinligi. Modellashtirish va kompyuter
nopoklik profillarining simulyatsiyasi ko'pincha sayoz ma'lumotlarni taqdim etishi mumkin,
murakkab tuzilmalar, ular odatda aniqlikdan tashqarida
eksperimental aniqlash. Hech bo'lmaganda oddiy mishyak tizimida
kremniyda, ko'p bosqichli murakkab struktura diffuziyasini simulyatsiya qilish
diffuziya jarayonlari katta muvaffaqiyatlarga erishdi. Bu, shubhasiz, bor
chuqur o'rganish zarurati uchun umumiy fikrni rivojlantirishga yordam berdi
yarimo'tkazgichlarda turli xil diffuziya jarayonlarini tushunish.
Kremniy va germaniyning intensiv texnologik ekspluatatsiyasi