Mavzu: kremniyda yig’ilgan nikel kirishmasini morfologik parametrlarni o’rganish

- kremniyni bir aralashma bilan HC bilan diffuziyali dopingning umumiy kontsentratsiyasiga va boshqasining kontsentratsiyasining taqsimlanishiga ta'siri;

kislorod tarkibi, tarqalishi va holatining HC bilan aralashmalarning umumiy kontsentratsiyasi va diffuziya profiliga ta'siri;

- kremniyning diffuziya bilan to'yinganligi, issiqlik bilan ishlov berish va kislorod kontsentratsiyasidan keyin sovutish rejimlarining HC va GO komplekslari bilan aralashmalarning o'zaro ta'siriga ta'siri.

Tadqiqotning maqsadi va vazifalari. Sanab o'tilgan jihatlar ushbu ishning maqsadi va uning asosiy vazifalarini shakllantirish uchun asos bo'ldi. Ushbu ishning maqsadi kremniydagi HC bilan aralashmalarning bir-biri bilan va kislorod bilan o'zaro ta'sirini har tomonlama o'rganish edi.
23. DISSERT KIRISH (REFERATNING QISMI)
“Kremniy yuzasida adsorbsiyalangan Ge atomlari va metallarning diffuziyasi” mavzusida
Sirtdagi fizik jarayonlarni o'rganish ham ilmiy, ham amaliy qiziqishlar bilan rag'batlantiriladi. Kataliz, adsorbsiya va plyonka o'sishi masalalarini hal qilish uchun atomik toza yuzalarning tuzilishi va morfologiyasini, sirtni qayta qurishni, unga begona atomlarning adsorbsiyasi ta'sirini, sirt diffuziyasini o'rganish kerak. Texnologiyaning eng dinamik rivojlanayotgan yo'nalishlaridan biri - mikroelektronikada keyingi taraqqiyot integratsiya darajasining oshishi va kvant o'lchami effektlarini ishlatadigan qurilmalarga o'tish bilan bog'liq. Kvant o'lchamli effektli ob'ektlarni, shuningdek, ma'lum bir tarkibi, tuzilishi va doping darajasiga ega bo'lgan yupqa plyonkalarni yaratish uchun molekulyar nur epitaksisi (MBE) usuli qo'llaniladi. Bunday ob'ektlarning shakllanishi sirtning xususiyatlari va unda sodir bo'ladigan jarayonlar bilan belgilanadi. Sirt tuzilishi, bosqichlarning mavjudligi va adsorbsiyalangan atomlarning sirt diffuziyasining xususiyatlari MBE vaqtida sodir bo'ladigan jarayonlarga bevosita ta'sir qiladi. Shunday qilib, sirt diffuziyasini o'rganish muhim va dolzarb vazifadir.

Adsorbsiyalangan atomlarning tarqalishi kremniy yuzasida epitaksiya paytida sodir bo'ladigan jarayonlarga bevosita ta'sir qilishiga qaramay, diffuziyani o'rganishga bag'ishlangan ishlarning aksariyati metall yuzalar bilan bog'liq. Kremniy yu


25. Tadqiqot maqolasi Ni(110) SurfaceSun Yan fizika va optoelektronika muhandisligi maktabi, Shandong texnologiya universiteti, Zibo 255049, Xitoyning Ni(110) Surfaceda CO ning adsorbsiyalariga qoplanish ta'siri. [e-mail] qilingan: 2021-yil 18-fevral; 2021 yil 26 iyunda qabul qilingan; 2021-yil 22-iyulda nashr etilgan Akademik muharrir: Eloy S. Sanz PrezMualliflik huquqi © 2021 Sun Yan. Bu Creative Commons Attribution License ostida tarqatilgan ochiq kirish maqolasi boʻlib, asl ish toʻgʻri koʻrsatilgan boʻlsa, har qanday muhitda cheksiz foydalanish, tarqatish va koʻpaytirishga ruxsat beradi. Turli qoplamalarda Ni(110) yuzasida CO ning adsorbsiyalari oʻrganilgan. birinchi printsipial hisob-kitoblar bilan. Natijalar shuni ko'rsatadiki, CO ning qisqa ko'prik uchastkasida afzallik bilan bog'lanishi. CO 1/6 mono qatlamli qoplamada qisqa ko'prik maydonchalarida va tepada tik holatda so'riladi. Qoplamaning 0,5 ML ga ortishi bilan, kuchaytirilgan sterik repulsiya CO ning qiyaligiga olib keladi. 1/6 va 1/2 monolayer qoplamasi uchun CO asosan qisqa ko'prik joyida va bir vaqtning o'zida ma'lum nisbatda sayt tepasida bog'lanadi. CO-qoplama 1 monoqatlam bo'lsa, CO qisqa ko'prik joyida so'riladi va p2mg konfiguratsiyasini hosil qiladi. CO ning qamrovi p2mg strukturasida yakuniy ravishda ortib borishi bilan 1962,27 sm-1 qiymatiga qadar doimiy chastota siljishi mavjud. Biz hisoblangan tebranish chastotalari nisbiy eksperimental natijalarga mos keladi. CO molekulalarining DOS va Ni atomlari ham muhokama qilinadi.1. Kirish Katalizator yuzasida gazning adsorbsiyasi katalitik jarayonning muhim bosqichidir. Adsorbsion tuzilmani va postadsorbsion dinamik xatti-harakatni tushunish nikel yuzasida CO ning molekulyar adsorbsiyasi jarayonini samarali boshqarish uchun nazariy asos bo'lishi mumkin, eksperimental va nazariy ishchilarning katta e'tiborini tortdi [1-7]. [8] Ni(110) tizimidagi CO ning toʻliq qamrovi boʻlib, unda CO qisqa koʻprik bilan molekula sifatida bogʻlangan. CO yutilishi Ni(110) infraqizil ellipsometrik spektroskopiya [9] bilan o'rganildi; 197K da olingan spektrlarning talqini shuni ko'rsatdiki, bir nechta tuzilmalar, ehtimol, CO qamrovi ortishi bilan yuzaga keladi. Ref. [10] CO molekulasi qisqa ko'prik joyida adsorbsiyalangan deb hisoblagan. Tadqiqotlar [3] shuni ko'rsatdiki, CO ko'prikli maydonda va past CO qoplamasi uchun saytning tepasida so'rilgan. Natijalar shuni ko'rsatdiki, yuqori va ko'prikli uchastkalar 0,8 mono qatlamdan past bo'lgan qoplamalar uchun egallangan; Yuqori yutilish dominant, ko'prikli yutilish dominant bo'lsa, to'liq bir qatlamli qoplamada p2mg konfiguratsiyasi hosil bo'ladi. Shubhasiz, CO qoplamasi Ni (110) yuzasida CO yutilishiga ta'sir qiluvchi asosiy omil hisoblanadi. Ushbu tadqiqotlar asosan eksperimental tarzda amalga oshiriladi. COon Ni yuzasining adsorbsiyasiga CO qoplamasining ta'sirini nazariy jihatdan o'rganish zarur. Ushbu maqolada zichlik funktsional nazariyasi (DFT) turli qoplamalarda CO ning Ni(110) yuzasida adsorbsiyasini o'rganish uchun ishlatilgan.2. Hisoblash usullari.Birinchi printsipial hisoblar tadqiqotda Vena ab initio simulyatsiya paketi (VASP) [12] yordamida amalga oshirildi. Perdew-Burke-Ernzerh (PBE) [14] tipidagi almashinuv-korrelyatsiya potentsiallari bilan proyektor bilan kengaytirilgan to'lqin usuli (PAW) [13] qabul qilindi. Van der Vaals kuchi molekulalarning o'zaro ta'sirini hisobga olgan holda qabul qilingan. Strukturani optimallashtirish va asosiy holat hisob-kitoblari bazaviy to'plam uchun 400 eV quvvatni kesish bilan amalga oshirildi. Elektron spin polarizatsiyasining ta'siri o'z-o'zidan izchil hisoblashda hisobga olinadi. Va 3P elektron hisoblashda valentlik elektron orbital sifatida qabul qilinadi. CO va Ni o'rtasidagi o'zaro ta'sir zaif bo'lganligi sababli, van der Waals dispersiya tuzatishi [15] qo'llaniladi. Tajriba yo'li bilan aniqlangan a=3:52 Å bo'lgan asosiy Ni ning panjara parametri besh Ni qatlamli va qalinligi 12 Å bo'lgan vakuum qatlamini o'z ichiga olgan plitalarni qurish uchun ishlatilgan. Qalinligi 12 Å bo'lgan vakuum qatlami lamel-lae orasidagi o'zaro ta'sir kuchi l0-3eV/nm dan kam bo'lishini ta'minlaydi va turli qatlamlar orasidagi o'zaro ta'sirni e'tiborsiz qoldirishi mumkin. pð3×2Þan bilan super hujayralar