Mavzu: kremniyda yig’ilgan nikel kirishmasini morfologik parametrlarni o’rganish

27. ISHNING UMUMIY TAVSIFI
Mavzuning dolzarbligi. Sirtdagi fizik jarayonlarni o'rganish
ilmiy va amaliy qiziqishlar bilan rag'batlantirildi. Yechimlar uchun
kataliz, adsorbsiya, plyonka o'sishi, tadqiqot masalalari zarur
atomik toza yuzalarning tuzilmalari va morfologiyalari, rekonstruksiyalari
sirt, unga begona atomlarning adsorbsiyasi ta'siri, sirt
diffuziya. Texnologiyaning eng jadal rivojlanayotgan sohalaridan birida -
mikroelektronika - keyingi taraqqiyot darajaning oshishi bilan bog'liq
integratsiya va kvant o'lchami effektlarini ishlatadigan qurilmalarga o'tish. Kvant o'lchamli ob'ektlarni yaratish uchun
effektlar, shuningdek, berilgan tarkibi, tuzilishi va darajasiga ega bo'lgan nozik plyonkalar
doping, molekulyar nur epitaksisi (MBE) usuli qo'llaniladi.
Bunday ob'ektlarning shakllanishi sirt va xususiyatlari bilan belgilanadi
unda sodir bo'layotgan jarayonlar. Sirt tuzilishi, qadamlarning mavjudligi
va Adsorblangan atomlarning sirt diffuziyasining xususiyatlari
MBE jarayonida yuzaga keladigan jarayonlarga bevosita ta'sir qiladi. Shunday qilib,
sirt diffuziyasini o'rganish muhim va dolzarb vazifadir.
Adsorbsiyalangan atomlarning to'g'ridan-to'g'ri tarqalishiga qaramasdan
kremniy yuzasida epitaksiya paytida yuzaga keladigan jarayonlarga ta'sir qiladi,
diffuziyani o'rganishga bag'ishlangan ishlarning aksariyati bilan bog'liq
metall yuzalar. Diffuziya tadqiqotiga oid maqolalar soni
kremniy yuzasida, nisbatan kam. Shunday qilib, bu aniqlandi
oltin va indiyning sirt diffuziya koeffitsientlari tuzilishga bog'liq
yuzalar [1, 2]. Birinchi guruh elementlarining sirt diffuziyasi o'rganildi
- kaliy, rubidiy va seziy [3]. Shu bilan birga, ko'p sonli elementlar uchun,
intensiv tadqiq qilinib, texnologiyada qo'llaniladigan ma'lumotlar