Moskva aviatsiya instituti (Milliy tadqiqot universiteti)

Vakuum ishlab chiqarish liniyasining xususiyatlari quyidagilardan iborat:

• 
  ion manbasini oldindan tayyorlash uchun modulning mavjudligi yuqori fizikaviy va mexanik xususiyatlarga ega qoplamalarni shakllantirish imkonini beradi;
  
• 
  mahsulotlarni ish kamerasiga davriy yuklashni istisno qilish, aralashmalar mavjudligini va bir hil qoplamalar hosil bo'lishini sezilarli darajada kamaytiradi, shuningdek, o'rnatish unumdorligini sezilarli darajada oshiradi;
  
• 
  yotqizish rejimida qoplama qalinligini nazorat qilish va kompyuter monitorida spektral xususiyatlarni ko'rsatish imkoniyati.
  

Vakuumli texnologik liniyalarning texnik tavsiflari:

• 
  kameralar soni: 3-7 dona;
  
• 
  pad o'lchamlari:
  

• 
  uzunligi 4000 mm gacha;
  
• 
  kengligi 3000 mm gacha;
  

• 
  magnetronlar soni: 2-7 dona;
  
• 
  ion manbalarining soni: 1-3 dona;
  
• 
  aylanish vaqti: 60 soniyadan;
  
• 
  magnetron quvvat manbai quvvati: 10-70 kVt.
  

Shartli belgilar:
1 - isitgich ;
2, 3, 5, 7, 9 - kamerali ;
4 - ionlar manbai ;
6, 8 - magnetronlar ;
10 - mahsulot ;
11, 12 - quvvat tokchalari ;
13 - boshqaruv paneli ;
14 - forevakuum tizimi ;
15 - yuqori vakuum tizimi ;
16 - boshqaruv paneli ;
17 - deklanşör ;
I, II, III, IV, V - kameralar.


ADABIYOTLAR RO'YXATI

Kudinov V.V., Bobrov G.V. Spray qoplamasi. Nazariya, texnologiya va uskunalar. Moskva: Metallurgiya, 1992 yil.

Roikh I.L., Koltunova L.N., Fedosov S.N. Himoya qoplamalarini vakuumda qo'llash. M.: Mashinostroenie, 1976 yil.
Xarlamov Yu.O., Ulyanitskiy V.N., Petrov P.O., Shpakov V.A. Qismlarning ishchi yuzalarida tiklovchi va qattiqlashtiruvchi qoplamalarni qo'llash. Qo'llanma. - Alchevsk: DonGTU, 2011 yil
https://studfiles.net/preview/5062946/
http://steeltimes.ru/books/allmet/newmaterialinmetallurgy/181/181.php
http://www.ngpedia.ru/id521203p1.html
http://techlibrary.ru/b/2s1f1n1f1o1p1c_2j.2v.,_2v1f1s1t1f1r1p1c_2z.2i._2j1a1l1u1u1n1o1a2g_1t1f1w1o1j1l1a_1jw_12m11g.12p. pdf
http://www.vacuum-plants.ru/technology
http://www.vacuum-plants.ru/product/item/technologicheskie-linii
http://www.vacuum-plants.ru/product/item/almaz
http://www.plazmacentre.ru/file/nashy-public/18.pdf