Moskva aviatsiya instituti (Milliy tadqiqot universiteti)

Vakuum plyonkali qoplama mashinasining asosiy texnik xususiyatlari:

• 
  ishchi vakuum kamerasi: 2000x1600x1400 mm;
  
• 
  shlyuz (2 dona): 1600x400x400 mm;
  
• 
  kamera bosimi: 1x10 ^-3 Pa;
  
• 
  ish bosimi: 10 ^-1 Pa;
  
• 
  magnetron manbalarining quvvati: 5, 10, 25 kVt.
  

Ion manbasi parametrlari:

• 
  tezlashtiruvchi kuchlanish: 2000 V gacha;
  
• 
  ish oqimi: 1 A gacha;
  
• 
  mahsuldorlik: 10-30 m / min;
  
• 
  anod kesimidagi ion nurining o'lchami: 1400x100 mm;
  
• 
  substratga normal bo'ylab ish maydonining o'lchami: 0-400 mm;
  
• 
  qoplamalar qalinligini o'lchash uchun qurilmaning spektral diapazoni: 1000 nm gacha;
  
• 
  o'rnatish tomonidan iste'mol qilinadigan quvvat: 150 kVt (texnologiyalarga qarab).
  

Vakuumni o'rnatish xususiyatlariga quyidagilar kiradi:

• 
  ion manbasini oldindan tayyorlash uchun modulning mavjudligi yuqori fizikaviy va mexanik xususiyatlarga ega qoplamalarni shakllantirish imkonini beradi;
  
• 
  mahsulotlarni (bay) davriy ravishda ish kamerasiga yuklashni istisno qilish, aralashmalar mavjudligini va bir hil qoplamalarning shakllanishini sezilarli darajada kamaytiradi - o'simlikning yuqori mahsuldorligi;
  
• 
  yotqizish rejimida qoplama qalinligini nazorat qilish va kompyuter monitorida spektral xususiyatlarni ko'rsatish imkoniyati.
  

5.4. Vakuumli texnologik liniyalar.
Vakuum liniyasi avtomatik rejimda kombinatsiyalangan usullar bilan keng turdagi qoplamalarni (himoya-dekorativ, qattiqlashtiruvchi, optik) qo'llash uchun mo'ljallangan.
Vakuum liniyasi tarkibi

• 
  mahsulotni purkash uchun yuklash (tayyorlash) uchun modul. Modul mahsulotni dastlabki tozalash va gazsizlantirish uchun mo'ljallangan;
  
• 
  ish kamerasi. Ish kamerasida yakuniy tozalash, mahsulotni tekis ion manbai bilan qayta ishlash va ma'lum bir texnologiya bo'yicha planar magnetronlar bilan kerakli qoplamalarni yotqizish amalga oshiriladi. Ish kamerasida mahsulotni harakatlantirish uchun qurilma, planar magnetronlar, isitish elementlari, bosimni nazorat qilish datchiklari, plazma spektri, spektrometrik tizim mavjud;
  
• 
  vakuum tizimi yuqori samarali yuqori vakuumli nasoslar va oldingi vakuum birliklaridan iborat. Vakuum tizimi mahsulotni yuklash (tayyorlash), tushirish va to'g'ridan-to'g'ri ish kamerasida modullarda kerakli bosimga erishishni ta'minlaydi;
  
• 
  tushirish moduli yoki (mahsulot chiqishi) bosim va harorat parametrlarini barqarorlashtirish uchun mo'ljallangan;
  
• 
  ion manbai argon ionlari bilan mahsulot yuzasini tozalash, faollashtirishni ta'minlaydi;
  
• 
  planar dizaynli magnetronlar;
  
• 
  harakatlanish moslamasi mahsulotni yuklash holatidan tushirish holatiga avtomatik ravishda harakatlanishini ta'minlaydi;
  
• 
  plazma tahlili va texnologik gaz oqimini nazorat qilish uchun qurilma texnologik parametrlarning barqarorligini va qoplamalarni olish jarayonining takrorlanishini ta'minlaydi;
  
• 
  qoplamalar qalinligini nazorat qilish uchun spektrometrik tizim kompyuter monitorida xarakteristikalar chiqishi bilan avtomatik rejimda qoplamalarni boshqarishni ta'minlaydi;
  
• 
  quvvat rafi magnetron va ion manbalarini va boshqa aktuatorlarni quvvatlantirish uchun mo'ljallangan;
  
• 
  boshqaruv paneli qoplamaning texnologik jarayonini avtomatik ravishda amalga oshirishni ta'minlaydi. Boshqaruv stendiga nasos, harorat, plazma tahlil qilish moslamalari, spektrometr, qoldiq bosimni o'lchash moslamasi va boshqalar uchun kontrollerlar kiradi.