O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

O‘RGANISH............................................................................................. 
 
 
57 
3.1.Nanoplyonkalar va nanostrukturalarni o‘rganishning an’anaviy usullari 
va qurilmalari.................................................................................................... 
 
58 
3.2.Oje-jarayon. Oje-elektron spektrometr qurilmasining asosiy qismlari.... 
62 
3.2.1.Sifatiy va miqdoriy analizlar. Kimyoviy siljishlar................................. 
70 
3.3.Xarakterli energiyasini yo‘qotgan elektron spektroskopiyasi.................. 
74 
3.4.Kichik energiyali elastik qaytgan elektronlar spektroskopiyasi................. 78 
3.5.Katta energiyali difraksiya usuli bilan epitaksial plyonkalarning kristal 
tuzilishi haqida ma’lumot olish to‘g‘risidagi umumiy ko‘rsatmalar.............. 
 
84 
3.6.Sekinlashtirilgan elektronlar difraksiyasi usuli bilan submonosloy 
qatlamlar hosil bo‘lish jarayonini o‘rganish..................................................... 
 
88 
IV-BOB. 
MIKRO- 
VA 
NANOMATERIALLARNI 
SIRTINI 
TEKSHIRISHDA 
FOTONLAR 
VA 
IONLAR 
OQIMIDAN 
FOYDALANISH............................................................................................. 
 
91 
4.1.Fotoelektronlar spektroskopiyasi............................................................... 
91 
4.2.Ultrabinafsha nurlarning fotoelektron spektroskopiyasi........................... 
96 
4.3.Fotoelektron spektroskopiyasi yordamida metall va yarim o‘tkazgichlar 
zonalarining parametrlarini aniqlash................................................................