O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

 
158 
6.5.Rasterli elektron mikroskopi....................................................................... 161 
6.6.Nanoob’yektlarni o‘rganishning zamonaviy zondli usullari.................... 
169 
6.6.1.Skanerlovchi tunnel mikroskop, atom – kuchlanishli mikroskop. 
Ularning qurilmalari, ishlash prinsiplari........................................................... 
 
169 
6.6.2.Kontaktli atom – kuchlanishli mikroskopiya........................................... 175 
VII-BOB. 
MIKRO– 
VA 
NANOELEKTRONIKADA 
QO‘LLANILADIGAN MATERIALLAR TO‘G‘RISIDA UMUMIY 
MA’LUMOTLAR............................................................................................ 
 
184 
 
7.1.Mikrоelеktrоnikа mаtеriаllаrining tаsnifi.................................................... 184 
7.2.Qаttiq fаzаdа kristаllаrni o`stirish............................................................... 195 
7.3.Gаz fаzаsidаn kristаllаr o`stirish................................................................. 207 
7.4.Si va Ge asosida hosil qilingan nanotizimlar............................................. 
209 
7.5.Kvant nuqta, kvant sim, kvant o‘ralarni hosil qilish. Ularning kristal va 
elektron tuzilishi............................................................................................... 
 
213 
7.6. Epitaksiya va ion – implantatsiya usullari bilan nanosilitsidlar hosil 
qilish.................................................................................................................. 
 
215 
7.7. “Yarim o’tkazgich-dielektrik-yarim o’tkazgich” va “Metal-dielektrik-
yarim o’tkazgich” nanotizimlar hosil qilishning istiqbollari...........................