O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

 
98 
4.4.Ikkilamchi ionlarning mass-spektroskopiyasi............................................ 
104 
 
 

---

233 
V-BOB. 
NANOPLYONKALAR 
OLISHNING 
ASOSIY 
TEXNOLOGIYALARI.................................................................................. 
113 
5.1. Metall va yarim o‘tkazgich chegarasidagi qatlamning tuzilishi.............. 
113 
5.2. Yarim o‘tkazgich va yarim o‘tkazgich orasidagi chegaraviy qatlam...... 
116 
5.3. Molekulyar nurli epitaksiya....................................................................... 118 
5.4. Qattiq fazali epitaksiya usuli bilan olingan plyonka va asos orasidagi 
chegaraviy qatlam............................................................................................. 
 
124 
5.5. Kichik energiyali ionlar implantatsiyasi.................................................... 126 
5.6. Termovakuumli bug‘lantirib o‘tkazish...................................................... 128 
5.7. Dielektriklarning yupqa himoya qatlamlarini hosil qilish texnologiyasi.. 
132 
VI-BOB. 
ELEKTRON 
OPTIKA 
VA 
ZAMONAVIY 
MIKROSKOPLAR 
YORDAMIDA 
NANOPLYONKALARNI 
O‘RGANISH USULLARI........................................................................... 
 
141 
6.1.Elektron mikroskopda tasvirlar hosil qilish............................................... 
141 
6.2.Yorituvchi elektron mikroskoplarning magnitli va elektrostatik turlari... 
146 
6.3.Yorug‘lik mikroskopining ishlash prinsipi va ishlash chegaralari........... 
151 
6.4.Elastik qaytgan elektronlar mikroskopining tuzilishi va ishlash 
tamoyillari..........................................................................................................