O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

maydonli tasvir deyiladi. 
Tasvirni olishning boshqacha usuli ham mavjuddir. Elektronlar to‘plami 
elektron optik tizimning bosh optik o‘qiga nisbatan ma’lum bir burchak ostida 
namunaga yo‘naltiriladi (6.3 – rasm). 
Bunda sochilishga uchramagan elektronlar diafragma tirqishiga tushmaydi 
va unda ushlanadi. Diafragma orqali kuchli sochilishga uchragan elektronlar o‘tadi. 
Tasvirni hosil qilishda sochilgan elektronlar ishtirok etadi. Kuchli sochilishga 
uchraganlar yorug‘roq bo‘ladi. Kuchsiz sochilishga uchraganlar esa qoraroq 
bo‘ladi. Bunday tasvir qora maydonli tasvir deyiladi. 
 
 
6.3 – rasm. Qorong‘u tasvirni olish 
Elektron mikroskoplarning ajrata olish qobiliyati. Yorug‘lik va elektron 
nurlarining to‘lqin uzunliklarini taqqoslasak, elektron mikroskoplarning ajrata 
olish qobiliyati yorug‘lik (optik) mikroskoplarinikidan 5 va undan yuqori 
qiymatlarga katta bo‘lishi lozim. Ammo amaliyotda bu narsaga erishish qiyin. 
L 
D 
S 
U 
0 

---

145 
Chunki yorug‘lik linzalaridan farqli ravishda elektron linzalarda aberratsiyalar, 
difraksiya bilan birgalikda ajrata olish qobiliyatini chegaralaydi. 
Agar geometrik aberratsiyalar haqida gapiradigan bo‘lsak, kichik apertura va 
kichik o‘lchamli obyektlardan foydalaniladigan elektron mikroskoplarda sferik 
aberratsiya muhim ahamiyatga ega bo‘ladi. Bunda nuqtaviy obyektning tasviri 
(yuzaga tushayotgan dastaning diametri) apertura kubiga proporsionaldir, ya’ni 
3

С
d
сф

(6.1) 
Manba kuchlanishining nostabilligi, katoddan chiqayotgan elektronlarning 
boshlang‘ich tezliklari bir – biridan farq qilishi va obyektdan o‘tganda elektronlar 
o‘z energiyasini yo‘qotishi sababli, hosil bo‘ladigan xromatik aberratsiya yuqori 
tezlashtiruvchi kuchlanishlarda, yaxshi stabillangan manbada va obyektning 
qalinligi kichik bo‘lganda katta ahamiyatga ega emas. 
Shuni ta’kidlab o‘tish kerakki, elektron mikroskoplarda asosiy buzilishlarni 
obyektivda ya’ni, birinchi linzada hosil bo‘lgan aberratsiyalar keltirib chiqaradi. 
Chunki proyeksion linza uchun obyekt vazifasini obyektiv tomonidan 
kattalashtirilgan dastlabki tasvir bajaradi. Shunday qilib, ajrata olish qobiliyatiga 
asosiy ta’sirni sferik aberratsiyalar va mikroskop obyektividagi difraksiyalar 
o‘tkazadi. 
Sferik aberratsiyani kamaytirish uchun apertur burchakni kamaytirish zarur. 
Ammo ( ning ma’lum bir kattaliklarida apertura burchagi kamayishi bilan ortib 
boradigan difraksiya kuchayadi. Demak, apertur burchakning shunday kattaligini 
tanlash lozimki, bunda eng kichik ruxsat etilgan masofa dp, ya’ni eng katta ajrata 
olish qobiliyatini ta’minlash mumkin bo‘lsin.
Ikkala faktor hisobiga yuzaga keladigan buzilishlarni
сф
диф
d
d
d


(6.2)
orqali belgilab, (6.1) ni (6.2)


sin
61
,
0
n
d
p

(6.3) 
ga qo‘yib, 



sin
deb quyidagi formulani yozish mumkin: 

---

146 
3
61
,
0



сф
cф
диф
С
d
d
d




(6.4) 
Bu tenglikning hosilasini nolga tenglab, optimal apertur burchakni 
aniqlaymiz: 
4
2
,
0
сф
опт
С



(6.5) 
Α
opt 
qiymatini (6.4) ga qo‘yib eng kichik ruxsat etilgan masofani quyidagi formula 
yordamida hisoblash mumkin. 
4
12


ñô
p
C
d

(6.6) 
Elektronlarni tezlashtiruvchi kuchlanish 100 kV va magnit linza hosil 
qilayotgan maydonning maksimumidagi qiymati 10000 erg ga mos keluvchi 
to‘lqin uzunligi uchun nazariy ravishda hisoblab chiqilgan eng kichik ruxsat 
etilgan masofa 2 Å ga tengligi aniqlandi va bu qiymat elektron mikroskoplarni 
modifikatsiya qilishda oriyentir vazifasini bajardi. Bunda foydali kattalashtirishlar 
2

10
5 
va undan yuqori qiymatlarga erishishi mumkin. Uzoq vaqt davomida ajrata 
olish qobilyatini chegaralanib qolishiga yuqorida keltirilgan shartlar emas, balki 
texnologik va konstruktiv xususiyatga ega bo‘lgan sabablar olib kelgan. Bu 
sabablarga, birinchi navbatda mikroskop linzasi maydoni aksial simmetriyasining 
buzilishi, magnit o‘tkazgich materiallarining bir jinsli bo‘lmasligi kiradi. Bundan 
tashqari elektron mikroskoplarda hamma elementlarning yuqori darajadagi 
yustirovkasini amalga oshirish lozim. Oz miqdordagi og‘ishlar ham simmetriya 
o‘qi astigmatizimining vujudga kelishiga olib keladi va bu hodisa ajrata olish 
qobilyatini chegaralaydi.