O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

3.2.Oje-jarayon. Oje-elektron spektrometr qurilmasining asosiy qismlari 
OES keyingi paytlarda qattiq jism sirtlarining kimyoviy tarkibini tahlil 
qilishda eng ko‘p tarqalgan usullardan biri bo‘lib qoldi. Bu usulning asosiy 
afzalliklari quyidagilardan iborat: qalinligi 5(20 YE bo‘lgan yuza qatlamlarni katta 
aniqlik bilan juda tez (bir necha minut) fursatda tahlil qila oladi. Mendeleyev 
davriy jadvalidagi (N va Ne dan boshqa) hamma elementlar to‘g‘risida miqdoriy 
ma’lumot bera olishi bilan birga, atomlar orasidagi kimyoviy bog‘lanishlarni ham 
aniqlash imkonini beradi. 
Hozirgi paytda OES faqatgina ilmiy izlanishlardagina emas, balki standart 
tahlil usuli sifatida elektron asbobsozlikda keng qo‘llanilmoqda. U, ayniqsa, yarim 
o‘tkazgichlar texnologiyasida, metallshunoslikda, katalizda, mineralogiyada va 
foydali qazilmalarni tahlil qilishda, kristallarni o‘stirishda keng qo‘llanilmoqda. 
OES bilan bir paytda yuzalarni ionlar yordamida yemirish usulini qo‘llab 
jismlarning sirt osti qatlamlarini (hajmini) ham tahlil qilish mumkin. 
OES usulining yaratilishi, prinsipi, turlari, imkoniyatlari va olingan natijalar 
to‘g‘risida rus va ingliz tillarida juda ko‘p ilmiy monografiya va maqolalar e’lon 
qilingan. Biz bu yerda asosan oje-jarayon, EOS usulining prinsiplari va qurilmalar 
to‘g‘risida to‘xtalib o‘tamiz. 
Oje - jarayon. Energiyasi yetarli darajada katta bo‘lgan birlamchi elektron 
jism atomlarining ichki sathlarining bittasidan, masalan, K sathdan elektron urib 

---

63 
chiqarishi mumkin. Bu bo‘sh qolgan joy tezda (10
-12
– 10
-13
s ichida) yuqori 
sathlardan biridagi (masalan, L
1 
sathdagi) elektronning o‘tishi bilan to‘ladi. Bu 
o‘tish natijasida Ek –EL energiya ajralib chiqadi. Bu energiya xarakterli rentgen 
nurlanish holida ajralishi mumkin yoki boshqa (masalan, L2) sathdagi elektronga 
berilishi mumkin. Agar aytilgan energiya elektronga berilib, uni vakumga chiqarsa, 
ko‘rib o‘tilgan jarayon oje – jarayon, uchib chiqqan elektron esa oje-elektron 
deyiladi. Bu o‘tishlar KL
1
L
2
kabi belgilanadi. Demak oje-jarayon uchta 
bosqichdan iborat bo‘lar ekan: 
1) ichki sathlarning birida vakant (bo‘sh) joy hosil bo‘ladi; 
2) yuqoridagi sathlardan biridagi (yoki valent zonadagi) elektron bilan 
vakant joy to‘ldiriladi; 
3) ajralib chiqqan energiya yuqori sathlardagi yoki valent zonadagi 
elektronlardan biriga berilib, uni vakuumga chiqaradi (Ajralib chiqqan 
energiya albatta to‘ldiruvchi elektron joylashgan sathdagi yoki undan
yuqoridagi sathlardagi elektronga beriladi). 2.4-rasmda oje – o‘tishlarga
ayrim misollar keltirilgan.
Oje-elektronlarning energiyasi E
wxy
umumiy holda taxminan quyidagiga 
teng bo‘ladi: 
E
wxy 
= E
w 
- E
x
– E
y
, (3.1) 
bunda w – vakansiya hosil bo‘lgan sath: x – vakansiyani to‘ldirish uchun 
elektron bergan sath: y – oje-elektron uchib chiqqan sath. Oje-elektronlarning 
energiyasini aniqroq hisoblash uchun quyidagi empirik formuladan foydalanish 
mumkin:
E 
wxy
= E
w
(z) – E
x
(z) – E
y
(z) – 1 /2{E
y
(z+1) – E
y
(z) + E
x
(z+1) – E
x
(z)}-

a
(3.2) 
Bu yerda, z – tekshirilayotgan elementning tartib nomeri, (a – oje-
elektronlarni qabul qilib olayotgan elektrod (analizator) ning chiqish ishi. 

---

64 
 
3.4-rasm. Oje o‘tishlar. KL
1
L
2
 – K sathda vakansiya hosil bo‘ladi, L
1
 dagi 
elektron uni to‘ldiradi, L
2
 dan oje-elektron uchib chiqadi; L
1
M
1
V – L
1
 dagi 
vakansiya M
1
 dan to‘ldiriladi, V dan oje-elektron chiqadi; L
1
VV – L
1
 dagi 
vakansiya V dan to‘ldiriladi va V dan oje-elektron chiqadi. 
 
Demak, oje-jarayon uchun kamida 2 ta elektron sath bo‘lishi kerak ekan. 
Shuning uchun ham N va Ne atomlari uchun oje-o‘tish ro‘y bermaydi. 
Elementning tartib nomeri oshib borgan sari unda ruy beradigan oje-o‘tishlarning 
soni ham ortib boradi, ya’ni har bir energiyali oje-elektronlar hosil bo‘ladi. Har