O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

III-BOB. YARIMO‘TKAZGICHLI NANOPLYONKALARNING 
FIZIKAVIY VA KIMYOVIY XOSSALARINI O‘RGANISH
 
Tezlashtirilgan (energiyali) elektronlar bilan «o‘qqa tutilgan» qattiq jismda 
sodir bo‘ladigan oddiy jarayonlarni o‘rganish sirtning va sirt osti qatlamlarining 
elektron va kristall tuzilishi to‘g‘risida, element va kimyoviy (undagi atom 
zarralarining kimyoviy bog‘lanishlari) tarkibi haqida, o‘rganilayotgan namuna-
moddaning chiqish ishi va boshqa emission xossalari to‘g‘risida hamda turli 
faktorlar (ionli implantatsiya, plyonkaning changlanishi elektron «o‘qqa to‘tish», 
qizish va hokazo) ta’sirida moddaning yuqorida keltirilgan parametrlarining 
o‘zgarishi to‘g‘risida mufassal ma’lumot olish imkonini beradi. 
Qattiq jism yuzasiga tushayotgan birlamchi elektronlar undan yuqorida 
aytilgan zarralarning to‘rttala turini ham urib chiqarishi mumkin. Bu protsesslar va 
ayrim asosiy metodlarning nomlari 3.1- rasmda keltirilgan. Umuman har bir 
turdagi zarralar uchun turli xil analiz qilish metodlarini qo‘llash mumkin. 
Amalda bu zarralar ichida ko‘proq ikkilamchi elektronlarni analiz qilishga 
asoslangan usullar ishlatiladi. Quyida biz birlamchi elektronlardan foydalanishga 
asoslangan eng ko‘p tarqalgan usullarning ayrimlarini ko‘rib chiqamiz.
3.1- rasm. Elektronlar bilan nurlantirishga asoslangan metodlar: 
KED – kichik energiyali elektronlarning difraksiyasi; TTS – to‘la toklar 
spektroskopiyasi; EES va NES – elastik va noelastik qaytgan elektronlarning 
spektroskopiyasi; HIS – haqiqiy ikkilamchi elektronlarning spektroskopiyasi; 

---

58 
XEES – xarakterli energiyasini yo‘qotgan elektronlar spektroskopiyasi; IS – 
ionlanish spektroskopiyasi; OES – oje-elektronlarning spektroskopiyasi; YUED – 
yuqori energiyali elektronlarning difraksiyasi; ESID – elektronlar bilan 
stimullashtirilgan ionlar desorbsiyasi; YUEZMS – yuzalarning elektron zondli 
mass-spektrometriyasi; ESD – elektron bilan stimullashgan zarralarning 
desorbsiyasi; XNS- xarakterli nurlanish spektroskopiyasi; CHPS- chegaraviy 
potensiallar spektroskopiyasi.