O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

Ion-neytral 
zarralarning 
mass-spektroskopiyasi 
(INZMS). 
Uchib 
chiqayotgan ikkilamchi ionlarning konsentrasiyasi yuza holatiga bog‘liq ravishda, 
aynan bir jism uchun 100, hatto 1000 martagacha o‘zgarib turishi mumkin.
4.12-rasm. Al plastinkasining ikkilamchi ion mass-spektri. 
Shuning uchun IIMS usuli yordamida konsentratsiyalarni to‘g‘ri aniqlash 
mumkin emas. Matrisa yuzasining toza emasligiga bog‘liq bo‘lgan effektlardan 
qutilish uchun ikkilamchi ionlar o‘rniga uchib chiqayotgan neytral zarralarni qayd 
qilish maqsadga muvofiqdir. Bu usulda neytral atomlar avvaliga musbat va manfiy 
ionlardan ajratib olinadi, keyin esa ular ionlashtiriladi. INZMS qurilmasining 
chizmasi 4.13-rasmda keltirilgan.
4.13-rasm. Ion-neytral zarralarning mass-spektrometri: 1 – ion manbai, 2 – 
mishen, 3–to‘rlar, 4 – ionlash kamerasi, 5 – mass-analizator, 6 – detektor. 

---

112 
Bu qurilmaning IIMS dan asosiy farqi shundaki, unda mass-analizatorning 
oldiga ionlash kamerasi o‘rnatilgan bo‘ladi. Mishen va ionlash kamerasi orasiga 
qo‘yilgan to‘rlarga shunday potensiallar beriladiki, ular musbat hamda manfiy 
ionlarning mishendan kameraga, kameradan esa mishenga o‘tishiga yo‘l 
qo‘ymaydi. Neytral atomlarni ionlash uchun tezlashtirilgan elektronlar bilan 
uyg‘otilgan plazma qo‘llaniladi. Ayrim hollarda plazmaning o‘rniga kuchli 
lazerlardan foydalanish mumkin. 
Tekshirilayotgan qandaydir neytral zarralarni A deb belgilasak, uni 
ionlashdan keyin hosil bo‘lgan signalni qo‘yidagi ko‘rinishda ifodalash mumkin: 
I
A 
o
= i
P 
Y
A 
J
A 
r
A
, (4.22) 
bunda J
P 
- birlamchi ionlarning toki, 
Y - A zarralarning to‘la chiqish kattaligi,
J
A 
- uchib chiqqan neytral zarralarning ionlashishi darajasi, 
r
A 
- asbob doimiysi. 
Asl metallar (Au, Pt, Pd) uchun J
A 
ning qiymati 10
-1
, qiyin eriydigan 
metallar uchun esa 10
-2
gacha bo‘lishi mumkin. INZMS usulning sezgirligi IIMS 
nikiga yaqin bo‘lib, 10
-3
ni tashkil qiladi. Yuza holatiga qarab uchib chiqayotgan 
neytral zarralarning soni sezilarli o‘zgarmasligi uchun INZMS usulini miqdoriy 
analiz uchun ham qo‘llash mumkin. 

---

113