iborat bo‘lib, magistratura va bakalavriat talabalarini o‘z ishiga faol
jalb etadi.
Laboratoriyaning ilmiy yo'nalishlari
Yangi plazma texnologiyalarini ishlab chiqish
Kremniy va uning turli o'lchamdagi
oksidli tuzilmalarida
tashish va relaksatsiya jarayonlarini o'rganish
Gözenekli mikro va nano tuzilmalar va ular asosidagi
materiallar
Atom
qatlamining
plazma
usullari,
plyonkalar
va
qoplamalarning kimyoviy va fizik cho'ktirilishi. (ALD,
PEALD, CVD, PECVD, PVD)
Quyosh va issiqlik energiyasini elektr energiyasiga samarali
konvertorlarni
yaratish
uchun
yarimo'tkazgichli
materiallarning turli modifikatsiyalarini ishlab chiqish.
Nanokatalizatorlar, nanostrukturalar
va nano kukunlarning
hosil bo'lishi, tuzilishi, o'lchamlari
va ularning sintez
jarayonlariga ta'siri.
Oqimli akkumulyatorlar uchun materiallar va bloklarning
konstruksiyalarini ishlab chiqish
Metalllarda, yarim o'tkazgichlarda
va dielektriklarda, elektr
zaryadsizlanish jarayonlariga asoslangan nanomateriallarda
elektr zaryadsizlanish jarayonlari
Plazma ta'sirida materiallarning elektrofizik
xususiyatlarini
o'zgartirish
Do'stlaringiz bilan baham: