O’zbekiston respublikasi oliy va o’rta maxsus ta’lim vazirligi mirzo ulug’bek nomidagi

Oxirgi 
yillarda 
laboratoriya 
xodimlari 
tomonidan 
muvaffaqiyatli himoya qilingan dissertatsiyalar: 
2021 
yil 
B.M.Abduraxmonov.
“Kremniyni kamaytirishning elektr yoy 
jarayonini modernizatsiya qilish va uning 
asosida elektron qurilmalarni yaratish” 
mavzusida 
nomzodlik 
dissertatsiyasi. (ilmiy 
rahbar, 
texnika 
fanlari doktori, prof. M.Sh. Qurbonov). 
2021 yil Sh.K.Kuchkanov. “Gaz fazasi va 
qisman ionlashgan oqimlardan cho‘ktirish 
natijasida olingan Si/Si va Si-Ge/Si 
plyonkali tuzilmalari asosidagi issiqlik 
energiyasini 
o‘zgartiruvchilar” 

---

mavzusidagi nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, texnika fanlari 
doktori, 
prof. 
X.B. 
Ashurov) 
. 
2019 
MMAdilov. “Granullangan 
kremniyning 
termoelektrik 
xossalari” mavzusida nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, texnika 
fanlari 
doktori, 
prof. 
X.B. 
Ashurov). 
2019 yil A. Zaripov. “Dielektriklarni elektroeroziv qayta ishlash 
jarayonlari” mavzusida nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, 
texnika 
fanlari 
doktori, 
prof. 
X.B. 
Ashurov). 
2019 yil R.X.Ashurov. “Kremniy va kremniy birikmalarining nanosiz 
strukturalarining ion-plazma hosil bo‘lishi” mavzusida nomzodlik 
dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, fizika-matematika fanlari doktori, prof. 
B.E.Umirzaqov). 
Oʻrnatish agregatlarining texnologiyalari va konstruksiyalari 
Oʻzbekiston Respublikasining 4 ta patenti va 15 ta xorijiy patent 
(AQSh, Yaponiya, Xitoy, Janubiy Koreya, Rossiya, Tayvan va 
Yevropa 
Ittifoqi) 
bilan 
himoyalangan. 
 TEOS (chapda) va polisilikon o'sishi uchun reaktorli monosilan 
sintezi uchun tajriba zavodlari