Portal guldu uz-ярим ўтказгичли Қ
ОМИК КОНТАКТЛАР ХУСУСИЯТЛАРИНИ ЎРГАНИШ
Download 0.72 Mb. Pdf ko'rish
|
|
4.3. ОМИК КОНТАКТЛАР ХУСУСИЯТЛАРИНИ ЎРГАНИШ
қуйида берилган жадвалда айрим ярим ўтказгичли қЭ лари тайёрлашда ишлатиладиган материаллар учун омик контактлар келтирилган. Ярим ўтказгичли материал ρ, Ом см n- ёки р- киришманинг концентрация Контакт материал и Контакт тури Келтирилган қаршилик, ом/см 2 70 си Р-Si - 10 19 Al актив 10 -6 P-Si - 10 15 Al актив 5 10 -4 P-Si 0,5 - Al актив 10 -3 P-Si 2 - Ni пассив - P-Si ҳар қандай ҳар қандай Pt-Pt-Si 10 -4 n-Si 5 10 -3 - Al пассив 4 10 -3 n-Si - 10 19 Ag-Pd-Ti пассив n-GaAs - 2 10 16 Ni-AuGe- Ni актив 8 10 -5 p-InP 1-10 - Au-Zn-Au актив 10 -3 қуёш элементларига тааллуқли контактларга қўйиладиган талабларни кўриб чиқамиз. Жадвалда қЭ лари учун ишлатилган класссик контактлар келтирилган. Умуман олганда ҳозирги замон қЭ лари учун ишлаб чиқилган контактларнинг ўнлаб ҳар хил материалдан олинган «актив» ва «пассив» турлари яратилган. Шунга қарамасдан уларга қўйиладиган талабларнинг асосий қисмлари қуйидагилардан иборат: 1. Контактнинг келтирилган қаршилиги кичкина бўлиши керак.(ρ ко→ 0) 2. Фронтал томонга олинадиган контакт тўрсимон кўринишда бўлгани учун, унинг қаршилигини камайтириш мақсадида унинг кесимини ошириш керак (яъни контакт қалин бўлиши керак). Бунинг учун қЭ эритилган қалайга (припойга) туширилади, шунинг учун контактнинг қатламлари шу жараёнга чидамли бўлиши керак. 3. Контактнинг хусусиятлари кейинги ҳар хил технологик жараёнлар давомида сақланиб қолиши керак, хусусан бу кўпроқ фронтал контактга тегишли. 71 4. қЭ ларини герметизация қилувчи қатламлар олингандан кейин контакт параметрлари узоқ вақт давомида (20 йил ва ундан кўпроқ вақт давомида) ташқи муҳит таъсирига чидаши керак. 5. Контакт олинадиган материаллар иложи борича арзонроқ бўлиши, нодир материаллар қўлланмаслиги (Ер шароитида ишлайдиган қЭ лари учун) керак. 6. Орқа томондан нурни қайтарувчи контактга эга бўлган қЭ лари олиш учун материал танланганда нурни қайтариш коэффициентини ҳисобга олиш керак. Кристалли кремний асосидаги қЭ кенг қўлланилади. Бу қЭ ларида асосан қуйидаги контактлар қўлланилади; р-типдаги Si учун Al, Al-Ti Pd-Ag ва n-типдаги Si учун Ti-Pd-Ag. Бу контактлар асосан вакуумда учириш усули билан олинади. Одатда n қ -Si учун Ag яхши туннелланиш хусусиятига асосланган контакт бўлиб ҳисобланади (Ф в қ0,6-0,7 эВ). Аммо бу тизимнинг адгезияси ёмон, шунинг учун Si билан Ag орасига оралиқ юпқа қатлам Ti киритилади. Бундай контактларда Ag нинг қалинлиги 2-3 мкм ва титаннинг қалинлиги 1 мкм га яқин бўлиши керак. Бундай қалин қатламларни вакуумда учириб олиш мушкил вазифадир. Бу контактларда табиий шароитда ўтказилган тажрибалар натижасига кўра бу системанинг коррозияга учраши мумкинлиги аниқланган ва бу жараён сув буғининг ютилишига асослангани аниқланган. Шунинг учун кейинчалик титан ва кумуш орасига палладий киритиш тавсия этилган ва натижада контактнинг электр токи ва ҳароратга чидамлилиги оширилган. Бу контактнинг бирдан- бир камчилиги унинг нисбатан қимматлилигидадир. Бу ерда нафақат материаллар нодирлиги, шу билан бирга вакуумда учириш жараёнининг катта исрофгарчиликка олиб келишини ҳам ҳисобга олиш керак (90% яқини чиқиндига чиқади). Download 0.72 Mb. Do'stlaringiz bilan baham: 
|