Реферат диссертации доктора философии (PhD) по физико-математике ташкент 2023 удк

Утверждение результатов исследований. Результаты диссертации обсуждались на 2-х международных и 5-ти республиканских научно-практических конференциях.
Публикация результатов исследований. Основные результаты по теме диссертации опубликованы в 7 научных работах, из них 1 в научных журналах, рекомендованных Высшей аттестационной комиссией Республики Узбекистан для публикации основных научных результатов диссертационных работ, в том числе 6 статей в зарубежных международные журналы.
Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав , заключения и списка литературы. Общий объем диссертации составляет 105 страниц, в том числе 28 страниц рисунков, список литературы в 80 наименованиях.
ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
введении обосновывается актуальность и необходимость темы диссертации, определяется связь исследования с приоритетными направлениями развития науки и техники в республике, раскрывается уровень изученности проблемы, ставятся цели и задачи. изложены объекты, темы и методы исследования, представлены научная новизна и практическая целесообразность исследования, разъяснена важность, внедрение результатов, апробация и публикация результатов работы, а также кратко описаны объем и структура диссертации.
«Структура и свойства силицидов железа и кобальта в кремнии (анализ литературы)» представлены научные сведения по изучению основных закономерностей образования силицидов металлов, свойств кристаллического и электронного строения, электрофизических свойств силицидов. Анализируются проблемы роста ионно-легированных слоев на поверхности Si, термодинамические аспекты эпитаксии, определяющие различные механизмы роста, связь условий роста с морфологией, стехиометрией, структурными дефектами и электрофизическими свойствами слоев.
Во второй главе под названием «Условия эксперимента и методы измерений» представлены результаты исследования методов постановки и проведения Одже-анализа поверхности в эксперименте и определения распределений проникновения по глубине образца. В качестве исходного материала использовали кремний КДБ с концентрацией бора 2·10 ¹⁵ см ^-3 и 1·10 ¹⁶ см ^{-3 .} Ионная имплантация железа и кобальта проводилась на установке ИЛУ-3 в Институте атомной энергии им. Курчатова. Условия легирования были следующими: на полированную поверхность кремниевых пластин направлялись ионы с энергией 40 кэВ, плотностью тока 50 мкА/см ² и дозой от 10 ¹⁵ до 10 ¹⁷ ионов/см ^{2 .} При имплантации ее проводили при комнатной температуре. Это позволяет предположить, что задействованные в эксперименте дефекты остаются после естественного старения мишени, то есть их распределение определяется имплантацией.
Основным методом исследования структуры выращенных слоев является метод дифракции быстрых электронов (ТЭД), позволяющий изучать структуру поверхности и ее эволюцию непосредственно в процессе роста.
Сверхчистые условия роста были достигнуты за счет использования бедных методов отсоса (мембранные, сорбционные, магниторазрядные и титановые сублимационные насосы), использования криопанелей, охлаждаемых жидким азотом, применения специальных мер по охлаждению устройств. Камера роста оборудована прямоугольным масс-спектрометром для анализа состава остаточной газовой атмосферы.
Аналитическая камера предназначена для исследования эпитаксиальных структур, сформированных методами ОЭС, РТС и ИИМС. Для анализа элементного состава слоев использовали метод ИИМС, а для изучения морфологии и стехиометрии слоев – метод ОЭС. Была получена аналитическая зависимость, которая связывает коэффициент покрытия слоя CoSi ₂ с интенсивностью сигналов Co и Si Oje во время профилирования Oje.
Важной особенностью описываемых экспериментов является то, что исследуемые образцы переносились из ростовой камеры в аналитическую без нарушения вакуума.