Ўзбекистон миллий университети қошидаги яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқИҚот институти ҳузуридаги илмий

кластерлари ва уларнинг параметрларини бошқариш» деб номланган 
иккинчи бобида, киришма атомларнинг кластерларини олиш технологияси, 
ўтказиладиган тажрибаларнинг усуллари ҳақида маълумотлар баён этилган, 
тажрибада қўлланиладиган асбоблар ва қурилманинг электр чизмаси 
келтирилган. Яримўтказгичларда киришма атомларнинг кластерларини 
шакллантиришнинг термодинамик ва технологик шартлари ўрганилган. 
Киришма атомларининг кластерларини ҳолатини тадқиқот усуллари ва 
уларнинг намуналар хусусиятига таъсири, никел киришма атомларининг 
кластерлари бўлган кремнийни олиш технологияси, бошланғич киришмалар 
тури ва концентрациясининг кластерлар ҳолатига таъсири, никел киришма 
атомларини кластерларининг ҳолатига легирлаш жараёни шартларининг 
таъсири ўрганилган. 
Дисертациянинг «Кремний кристалл панжарасидаги никел киришма 
атомлари кластерларининг миграцияси ва геттерлаш хусусиятлари» деб 
номланган учинчи бобида, турли киришма атомлар (марганец, темир, 
олтингугурт) билан легирланган кремнийда никел киришма атомларининг 
кластерлари таркиби ва ўлчамини тадқиқ этиш натижалари келтирилган. 
Кремний кристалл панжарасидаги никел киришма атомларининг кластерлари 
структурасини физик модели таклиф этилган. 
Илк марта никел киришма атомларининг ҳолати ва жойлашувини 
бошқариш имконини берувчи жуда қизиқ ва янги ҳодиса никел киришма 
атомларининг 
миграцияси 
аниқланди. 
Никел 
киришма 
атомлари 
кластерларининг кремнийдаги ғайриоддий катта миграция коэффициенти 
билан дияфузияланиши аниқланган. Никел киришма атомларининг 
кластерларини миграция коэффициенти ҳисоблаб чиқилган, Т=800 °С 
ҳароратда кластернинг миграция коэффициенти D≈1,2∙10
-8
÷10
-9
см
2
/c бўлиб, 
бу қиймат никел атомларининг шу ҳароратдаги диффузиия коэффициентига 
нисбатан 1,5÷2 тартибга кичик эканлиги аниқланган. 
Кремний кристалл панжарасидаги никел киришма атомалари 
кластерларининг геттерлаш хусусиятлари аниқланган. Кремний кристалл 
панжарасидаги никел киришма атомларининг кластерлари яримўтказгич 
ҳажмини ифлослантирувчи турли хил “зарарли” ва бошқариб бўлмайдиган 
киришмалар ҳамда (рекомбинацион марказларини генерацияловчи ва 
термонуқсонларни ғалаёнлантирувчи) кислород атомларини геттерлаш 
мумкинлиги кўрсатиб берилган.
Ҳарорат Т=800 °C бўлганида кластерларнинг маълум бир йўналиш 
бўйлаб аниқ тартибланиши кузатилди ва бу жараён узунлиги 400÷450 мкм 
бўлган, ҳар хил кластерлардан ташкил топган кластерли занжирларни 
шаклланишига олиб келди (1б.расм). Кристаллнинг бошқа қисмлари (1б. 
расмда кўринганидек), бутунлай шаффофлигича қолди, яъни кремний 
намунасида никел киришма атомларининг кластерлари мутлақо учрамади.
Олинган маълумотларнинг таҳлили асосида термик ишлов ҳарорати 
Т=700÷800 °С бўлганда кластерларнинг тартибланиши кўрсатиб берилди. Бу 
ҳодисани кластерларнинг дастлабки ҳолатидан силжимайди деб тушунтириш 

---

мумкин эмас, яъни бу ҳолат никел киришма атомлари кластерларининг 
кристалл панжарадаги миграцияси оқибатида келиб чиқади.