Ўзбекистон миллий университети қошидаги яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқИҚот институти ҳузуридаги илмий

Тадқиқотнинг амалий натижалари:
илк бора бошланғич электр ва рекомбинацион параметрларини 
ўзгартирмайдиган ва бу параметрларни кейинги термик қайта ишловларнинг 
кенг ҳарорат оралиғида (T=100÷1000 ºС) ўзгармас сақлаш имконини 
берадиган кремний материалларини олишнинг янги ва ўзига хос диффузион 
легирлаш усули ишлаб чиқилган; 
бошланғич кремний материалининг тури ва электр параметрлари 
диффузия жараёнида ҳамда ҳароратнинг кенг соҳасида термик қайта ишлов 
берганда барқарор электр параметрларга ва АБЗТЯВга эга бўлган 
материалларни олиш имконини берувчи никел киришма атомларининг 
кремнийга диффузия қилишнинг термодинамик шартлари аниқланган; 
мавжуд бўлган турли “зарарли”, шунингдек, махсус киритилган КА, 
айниқса, 
кислород 
атомларининг 
кремнийда 
етарлича 
самарали 
геттерланишининг шартлари аниқланган. 
Тадқиқот натижаларининг ишончлилиги тадқиқотда етарлича 
замонавий усулларни қўллаш, ижобий баҳоланган тажриба усуллари, 
шунингдек, кўпсонли тажриба маълумотлари ва олинган маълумотларни 
текшириб кўришда тажриба натижаларининг физик таҳлили замонавий 
назарий тушунчаларга мос келиши ҳамда уларни мавжуд илмий 
адабиётлардаги маълумотларга таққослаш билан таъминланган. Олинган 
маълумотлар 
ТДТУда 
мунтазам 
ўтказиладиган 
ҳафталик 
илмий 
семинарларда етакчи мутахассислар (М.К Бахадирханов, Н.Ф Зикриллаев, 
Х.М Илиев, Ғ.Х Мавлонов, К.С Аюпов ва б.), иштирокида шунингдек, 
кўпгина халқаро ва республика илмий семинарларда ҳамда анжуманларда 
муҳокама қилинган. 
Тадқиқот натижаларининг илмий ва амалий аҳамияти.
Тадқиқот натижаларининг илмий аҳамияти, олинган ишончли ва қайта 
тиклаш мумкин бўлган тажриба натижалари, ҳажмий нано ва 
микротузилмали яримўтказгич материалларни олишда янгича ёндошувни 
қўллаган ҳолда кремний материалида НКАКларни шакллантириш 
технологияси ва физикасини сезиларли тарзда кенгайтиради. Илк бора 
НКАКларни 
кремний 
кристалл 
панжарасида 
миграцияланишининг 
физикавий механизми очиб берилган ва асосланган 
Тадқиқот натижаларининг амалий аҳамияти НКАКларнинг ҳолатини 
шакллантириш ва бошқариш имконини берувчи, янги технологик ечимлар 
асосида истиқболли диффузия технологияси ишлаб чиқилган. Бу термик 
қайта ишловлар вақтида доимо учрайдиган ва ρ солиштирма қаршиликнинг, 
айниқса τ асосий бўлмаган заряд ташувчиларнинг яшаш вақтинининг 
қийматини 
сезирарли 
ўзгаришига 
сабабчи 
термодонорларнинг 
генерациясини жиддий камайтириш ҳисобига бошланғич кремнийни электр 
ва рекомбинацион параметрларини термик диффузияда ҳамда материалга 
қўшимча термик ишлов беришнинг турли ҳароратларида ҳам (T=100÷1000 
ºС) сақлаб қоладиган кремний пластиналарини олиш имконини беради. 
Ишлаб чиқилган технологик ечимнинг амалиётда кўлланилиши кремний 

---

асосида самарадорлиги юқори бўлган қуёш элементларини яратишда жуда 
катта амалий аҳамиятга эга.