Ўзбекистон миллий университети қошидаги яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқИҚот институти ҳузуридаги илмий

Диссертация мавзусининг бажарилган олий таълим муассасаси 
илмий тадқиқот ишлари билан боғлиқлиги. Диссертация иши ТДТУнинг 
“Рақамли электроника ва микроэлектроника” кафедрасида ва КДУни 
“Яримўтказгичлар физикаси” кафедрасида давлат грантлари дастурига 
мувофиқ. ОТ-Ф2-50-сон «Кремний панжарасида A
III
B
V
ва A
II
B
VI
яримўтказгич бирикмаларининг элементар ячейкалари шаклланишининг 
илмий асосларини ишлаб чиқиш - фотоэнергетика ва фотоника учун 
истиқболли материаллар олишдаги янги ёндашув» (2017-2020 йй.) ва ОТ-Ф2-
55-сон «Янги функционал имкониятларга эга наноматериалларнинг янги 
синфи сифатидаги киришма атомлари нанокластерларининг шаклланиши 
негизида ҳажмий структуралашган кремний олишнинг илмий асосларини 
ишлаб чиқиш» (2017-2020 йй.) ҳамда ОТ-Ф2-77-сон «Структуранинг ички 
нуқсонларини ҳисобга олган ҳолда моделлаштириш асосида яримўтказгич 
асбоблар ишончлилигини олдиндан айтиш методларини такомиллаштириш» 
(2017-2020 йй.) дастури доирасида бажарилган. 
Тадқиқотнинг мақсади: электр ҳамда рекомбинацион параметрлари 
барқарор бўлган кремнийни олиш учун кремний панжарасини никел 
киришма атомлари кластерлари билан геттерлашнинг физик асосларини 
яратиш. 
Тадқиқотнинг вазифалари: 
кристалл панжарада дастлабки киришма атомларининг (КА) тури ва 
концентрацияси ҳамда диффузион легирлаш шароитларига боғлиқ ҳамда 
электр жиҳатдан нейтрал НКАК шакллантириш ва уларнинг кристалл ҳажми 
бўйича тақсимланишини аниқлаш; 
кристалл панжарадаги НКАКлар ҳолатини бошқаришнинг физик 
асосларини яратиш ҳамда уларнинг таркиби, структураси, ўлчами ва 
тақсимланишини замонавий микроскопик усуллар ёрдамида тадқиқ этиш; 
барча НКАКларнинг биргаликда ҳаракатланиш механизми ҳамда 
уларнинг кремний панжарасидаги миграция параметрларини ўрганиш; 
никел кластерларининг миграцияси асосида зарарли ва бошқариб 
бўлмайдиган КАларнинг геттерланиш механизмини яратиш; 
кремнийнинг электр ва рекомбинацион параметрларини бошланғич 
ҳолатини сақлаш имконини берадиган термик ишловнинг турли 
шароитларида легирлаш технологиясини яратиш ва ишлаб чиқаришга тавсия 
этиш.