Ўзбекистон миллий университети қошидаги яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқИҚот институти ҳузуридаги илмий

Тадқиқотнинг 
республика 
фан 
ва 
технологиялари 
ривожланишининг устувор йўналишларига мослиги. Мазкур диссертация 
иши 
Ўзбекистон 
Республикасининг 
фан 
ва 
технологияларни 
ривожлантиришнинг устувор йўналишларига мос равишда: ППИ-3 
“Энергетика, энергия ресурсларини тежаш, транспорт, машина ва 
асбобсозлик, замонавий электроникани, микроэлектроникани, фотоника, 
электрон асбобсозликни” ҳамда замонавий электроника йўналишларини 
ривожланишида муҳим аҳамиятга эга. 
Муаммонинг ўрганганлик даражаси. Сўнги йилларда нанотехнология 
ва наноэлектроника соҳасидаги олимлар киришма атомлар кластерларини - 
(КАК) олиш муаммоларига, хусусан таркиби ва структураси бошқариладиган 
турли хил киришма атомлар асосида бинар кластерларни олиш 
технологиясидаги муаммоларга катта эътибор қаратмоқдалар. Россиялик 
олимлардан М.Г. Мильвидский, И.В. Бажин ва Ю.А. Астров ўз ишларида 
КАКнинг яримўткагичлардаги ҳолати ва тақсимотини ўрганишган. 
Нанокластерларнинг атом структураси ва уларнинг турли хил киришма 
атомлар билан таъсирлашишини И.А. Михайлов, А.Т. Косилов, А.А Таскин, 
Е.Г Тишковский каби олимлар тадқиқ этишган. J. Lindroos ва бошқаларнинг 
илмий ишларида замоновий тажриба усулларни қўллаш натижасида никел 
киришма атомларини юқори диффузияланиш хусусияти кўрсатилган: 
D
Ni
(T)=(1,6960+/-74)·10
-4
exp(-0,15+/-0,04эВ/k(B)T) см
2
/с. 
Яримўтказгич 
материалларининг 
электр 
параметрларини 
термонуқсонлар билан боғлиқлиги Е. Weber, H.G. Riotte, Zhang Xiangli, Sun 
Zhaowei ва Е.А. Клемановлар томонидан тадқиқ қилинган. Чистохин, К.Б. 
Фрицлер ва Г.Е. Айвазяннинг ишларида тузилмавий нуқсонлар ва тез 
диффузияланувчи киришма атомларни ғовак кремний қатламлари билан 
юқори термик ишлов берилганда самарали геттерлаш имконияти ўрганилган.
Ўзбекистонда академик А.Т. Мамадалимов томонидан турли 
киришмалар билан легирланган кремнийнинг фотоўтказувчанлигини ҳарорат 
таъсирида сўниши тадқиқ этилган. Ш.М. Махкамов, Н.А. Турсунов, К.П. 
Абдураҳмоновнинг илмий ишларида кремний асосидаги асбобларда 

---

радиацион нуқсонларни бошқариш усуллари ишлаб чиқилган. А.О. Қурбанов 
томонидан НКАКнинг рекомбинацион хусусиятларини кремнийга таъсири 
ўрганилган. Ш.Б. Утамуродова ва Н.А. Турғунов томонидан кремнийда 
никел ва марганец киришма атомларининг микроуланишларини ҳосил 
бўлиши ўрганилган. Академик М.К. Бахадирхановнинг илмий мактабида 
кремний панжарасида КАКни шакллантириш технологияси илмий асослаб 
берилган.