1. Nanotexnologiyalarning rivojlanish bosqichlari. Kvant mexanikasining istiqbollari

Nanoelektronika Nanoelektronikaning rivojlanish bosqichlari. 
Nanotehnalogiya – bu moddalar bilan ishlashdan alohida atomlarni boshqarishga o’tishi: 
nanoo’lchamda moddani ko’plab mehanik, termodinamik , magnit va elektrik harakteriskalari 
holati o’zgarib ketadi. Masalan , oltin nanozarralari hajmiy oltin zarralaridan katalitik, 
feromagnitik, to’g’rilovchi optik hossalari, o’ziyig’ilishga qodirligi bilan farq qiladi. Ular 
yorug’likni yahshi yutadi va sochadi, zaharsiz, kimyoviy stabil, biyomoskeluchi. Ularning 
intensiv bo’yashda(tovlanish) hozirda dedektirlash uchun, vizualiyashgan va biyotibbiyot 
obektlar miqdorni aniqlashda foydalanilmoqda [1-7]. Oltin nanozarralari butun boshli asboblar 
diyagnostika vositalardan tortib har hil turdagi sensorlar, optik tolali va kampyuter 
nanosxemalarini[8-9] yaratishda itiqbollidir. Ko’rsatilgan hususiyatlar tufayli oltin nanozarralari 
asosiy metodlari va tushunchalari bilan osson tushunarli universal obekt modili nanofanni 
tanishtirish uchun qulay rol o’ynashi mumkin, Zamonaviy texnik tizimlar va vositalarni 
boshqarish hamda fan va texnikaning rivojlanishi elektronikaning etakchi tarmoqlaridan biri 
bo’lgan mikroelektronika hamda endigina paydo bo’layotgan nanoelektronika sohalarida faoliyat 
ko’rsatadigan malakali mutaxacsislarni tayyorlash bilan uzviy bog’liqdir. Zamonaviy elektronika 
mahsulotlari bo’lmish integral mikrosxemalar, mikroprostessorlar, o’ta yuqori chastotali 
detektorlar, quyosh elementlari, lazerlar, elektron hisoblash mashinalar va o’ta yuqori xotirali 
tizimlar va boshqa noyob elektrik asboblarni yaratish yangi xususiyatga ega bo’lgan yupqa va 
o’ta yupqa ko’p komponentli qatlamlar tizimlarini yaratishni taqozo qiladi. Shu boisdan ham 
keyingi yillarda yupqa va o’ta yupqa qatlamlar hosil qilish texnologiyasi va fizikasiga bo’lgan 
e’tibor keskin ortib ketdi. 
Yupqa plyonkalar olish va ularning xususiyatlarini o’rganish o’tgan asrning 70 yillardan 
boshlab qo’llanilib kelinayotgan an’anaviy usullari mavjud. Bu usullar bilan olingan 

---

plyonkalarning qalinligi asosan bir necha mikrondan o’nlab mikrongacha bo’lib, ular qattiq 
jismli elektron asbobsozlikda hozirgi kunda ham muvaffaqiyatli qo’llanilib kelmoqda. Hozirgi 
vaqtga kelib yupqa (d

102

103 nm) va o’ta yupqa (d<100 nm) plyonkalar olishning zamonaviy 
molekulyar nurli epitaksiya(MNE), qattiq fazali epitakstiya(QFE), ionlar implatastiyasi va eng 
zamonaviy (nanoassembler) usullari orqali hosil qilish mumkin. Zamonaviy usullar yordamida 
asosan plyonka hosil qilish o’ta yuqori vakuum sharoitda olib borilishi, o’ta yaxshi tozalangan 
asos(taglik)lardan 
va 
atom(molekula) 
manbalaridan 
foydalanilishi, 
plyonkalarning 
mukammalligi(yuqori darajada tekisligi, bir jinsliligi, silliqligi, monokristalligi) bilan eski 
(tradistion) usullaridan tubdan farq qiladi. Hozirgi paytda nanoelektronika rivojlanmoqda, ya’ni 
elektron asbobsoslikda qalinliklari o’nlab nanometr (1 nm = 10-9 m) bo’lgan plyonkalarni 
ishlatish ustida ishlar olib borilmoqda. Bunday plyonkalar ustma-ust, qatlama-qatlam qilib 
joylashtirilib aktiv va passiv elementlar hosil qilishda ishlatilishi mumkin. Fan va texnika 
rivojlanib uch o’lchamli tizimlar hosil qilinmoqda. Bunday tizimlarda 1 sm3 hajmda yuz 
minglab-millionlab yupqa plyonkali elementlarni joylashtirish mumkin. Ular asosida hosil 
qilingan integral sxemalar katta va o’ta kattaintegral mikrosxemalar debataladi. Demak, kerakli 
maqsadlarda ishlatilishi mumkin bo’lgan yupqa qatlamlarni hosil qilish, ularning tarkibini, 
kristall va elektron tuzilishini, fizik va kimyoviy xususiyatlarini o’rganish fanning ahamiyatini 
belgilasa, olingan yupqa plyonkalarning asbob sifatida ishlatilishi uning xalq ho’jaligida va 
texnikada qo’llanilishini aks ettiradi.