Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash

Bug 'kimyoviy birikmasi
[ tahrirlash | kodni tahrirlash ]
Vikipediyadan, bepul ensiklopediya
Sahifaning amaldagi versiyasi hali tajribali ishtirokchilar tomonidan ko'rib chiqilmagan va 2016 yil 30 aprelda ko'rib chiqilgan versiyadan sezilarli farq qilishi mumkin ; cheklar 6 ta tahrir qilishni talab qiladi .
O'tish Navigatsiya o'tish qidirish uchun

Plazma PECVD ( Plazma Enhanced CVD) laboratoriyasida uglerod nanotubalarining o'sishini tezlashtiradi .
Kimyoviy bug 'cho'kmasi (CVD) ( kimyoviy bug' fazasi cho'kmasi , ingl. Kimyoviy bug ' cho'kmasi , CVD ) - yuqori qattiq moddalarni olish uchun ishlatiladigan jarayon. Jarayon ko'pincha yarimo'tkazgich sanoatida nozik plyonkalar yaratish uchun ishlatiladi . Odatda, yurak va tomir kasalliklari jarayoni bir joylashadi pastki qatlam munosabat va / yoki substrat yuzasida kerakli moddani ishlab chiqarish parchalab bir yoki bir necha moddalar bug'lari, ham. Gazli reaktsiya mahsuloti ham tez-tez hosil bo'ladi, kameradan gaz oqimi bilan amalga oshiriladi.  
CVD jarayoni yordamida turli xil tuzilmalar materiallari ishlab chiqariladi: bitta kristallar , polikristallar , amorf jismlar va epitaksiallar . : Materiallarning misollar kremniy , uglerod tolasi , uglerod nanolif , uglerod nanoparchaning , Grafen , SiO ₂ , volfram , kremniy karbid , kremniy nitrid , titanium nitrit , turli DIELEKTRIKLAR va sintetik olmos .

Tarkib

• 
  1 CVD turi
  
  • 
    1.1 Bosim bo'yicha tasniflash
    
  • 
    1.2 Bug'ning fizik xususiyatlari bo'yicha tasniflash
    
  • 
    1.3 Plazma usullari
    
  • 
    1.4 Boshqa usullar
    
• 
  2Mikroelektronika uchun materiallar
  
  • 
    2.1 Polikristalli kremniy
    
  • 
    2.2 Silikon dioksid
    
  • 
    2.3 Silikon nitrid
    
  • 
    2.4 Metallar
    
• 
  3Qarang shuningdek
  
• 
  4 Izohlar
  
• 
  5 Adabiyot
  
• 
  6Linklar
  

CVD turlari [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]

Issiq devorli CVD

Plazmadagi kimyoviy bug 'cho'kmasi
CVD ning turli xil turlari keng qo'llaniladi va ular adabiyotda tez-tez tilga olinadi ^[ qaysi? ] . Jarayonlar kimyoviy reaktsiyalarni qo'zg'atish usuli va jarayon sharoitida farq qiladi.
Bosim tasnifi [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]

• 
  Atmosfera bosimida CVD ( ing . Atmosferic Pressure kimyoviy bug ' birikmasi ( APCVD ) ) - atmosfera bosimida CVD jarayoni sodir bo'ladi.   
  
• 
  Kamaytirilgan bosim ostida CVD ( ingliz. Past bosimli kimyoviy bug ' cho'kmasi ( LPCVD ) ) - submosfera bosimida CVD-jarayon. Kamaytirilgan bosim gaz fazasidagi kiruvchi reaktsiyalar ehtimolini pasaytiradi va plyonkaning substratga bir tekis joylashishiga olib keladi. Zamonaviy CVD o'rnatmalarining aksariyati LPCVD yoki UHVCVD.  
  
• 
  Vakuum CVD ( ing . Ultra yuqori vakuumli kimyoviy bug ' cho'kmasi ( UHVCVD ) ) - CVD jarayoni juda past bosimlarda, odatda ^10-6 Pa (~ 10 ^-4 mmHg .. ) ostida ishlaydi.