Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash

Sirkin V.G.
Bo'lim: Kimyo va materialshunoslik 
Grant raqami: 98-03-46021
Kitob CVD usuli (nazariyasi va amaliyotining taqdimotiga bag'ishlangan Kimyoviy Vapor Deposition metall filmlar, qoplamalar, birikmasini -) mo'yloviga bug'laridan va yuqori dispers zarralar (gaz) uchuvchan metall bo'lgan birikmalar bosqich - metall karbonillar , bis - siklopentadienil birikmalari ( metalotsenlar ), metall alkillar , - metal dikstatatlar va metall halogenidlar . Vakuumda, tashuvchi gazda, gaz chiqarish plazmasida, elektron-yoy usuli bilan va lazer bilan CVD metallizatsiyasi uchun boshlang'ich materiallarni tanlash printsiplari tavsiflangan . Radioelektronika, elektron muhandislik, mashinasozlik, aviatsiya, astronavtika va boshqa fan va texnologiyalar sohalarida ishlatiladigan funktsional metall plyonkalar, qoplamalar va mo'ylovlarni olish bo'yicha materiallar keltirilgan . Metalllarni turli xil modifikatsiyalar ko'rinishida olishni istagan odamlar uchun, organometalik birikmalar bilan ishlaydigan va ularni issiqlik dissotsilanish usullariga ixtisoslashgan kimyogarlar.
O'rnatish va mahsulotlar
Yuqori haroratli vakuumli sinterlash pechlari
Gaz bosimli sinterlash pechlari
Issiq vakuumli presslar
Plazma bilan sinterlanadigan o'simliklar uchquni
CVD / CVI qoplama tizimlari
CVD 30
JVD 175
CVD 900
VVD 2500
Maxsus tizimlar
Ishlatilgan sinter o'simliklari
CVD / CVI qoplama tizimlari
Bug ' kimyoviy birikmasi va gaz fazasi infiltratsiyasi
Gaz fazasini cho'ktirish orqali termik ravishda hosil bo'lgan (ing.: Kimyoviy bug ' birikmasi , CVD) kichik yoki katta qatlamlarga turli dielektrik, yarim o'tkazgich va metall materiallarning (mono- / polikristalli, amorf yoki epitaksial holatdagi) bir xil qatlamlarini yotqizish ehtimoli katta. .
Oddiy qoplama materiallari, boshqalar qatori, pirolitik uglerod, kremniy karbid, bor nitridi. Sintetik xom ashyoni ishlatish tufayli qoplamalar ultrafure bo'lib, ular yarimo'tkazgich sanoatining barcha odatiy talablariga javob beradi.
Jarayon parametrlariga qarab, qoplama qalinligining keng diapazoni mumkin: qalinligi bir yoki bir nechta atomlardan qalinligi bir necha nanometrgacha bo'lgan qattiq himoya yoki funktsional qoplamalarga, yuzlab mikrometrgacha va bundan tashqari, monolitik mahsulotlarga qalinligi bir necha millimetr.
Gaz fazasining termik ta'sirli infiltratsiyasi (ing.: Kimyoviy bug ' infiltratsiyasi , CVI) - yaxshilangan mexanik xususiyatlarga ega bo'lgan kompozit materiallarni ishlab chiqarish nuqtai nazaridan matritsa materialini g'ovakli yoki tolali preformlarga singdirish uchun CVD usuli texnologiyasiga asoslangan, korroziyaga chidamliligi, termal zarbalarga chidamliligi va past ichki stress.
Har xil o'lchamdagi va kompozitsiyalardagi murakkab shakllarni ishlab chiqarish mumkin. Bir nechta gaz teshiklari o'rtasida almashinish orqali matritsaning o'ziga xos cho'kishini boshlashdan oldin g'ovakli yoki tolali preformlarni ko'p qatlamli chegara qoplamalari bilan qoplash mumkin .