Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash
Download 51.65 Kb.
|
Bug 1000
- Bu sahifa navigatsiya:
- CVD / CVI qoplama tizimlari
Sirkin V.G.
Bo'lim: Kimyo va materialshunoslik Grant raqami: 98-03-46021 Kitob CVD usuli (nazariyasi va amaliyotining taqdimotiga bag'ishlangan Kimyoviy Vapor Deposition metall filmlar, qoplamalar, birikmasini -) mo'yloviga bug'laridan va yuqori dispers zarralar (gaz) uchuvchan metall bo'lgan birikmalar bosqich - metall karbonillar , bis - siklopentadienil birikmalari ( metalotsenlar ), metall alkillar , - metal dikstatatlar va metall halogenidlar . Vakuumda, tashuvchi gazda, gaz chiqarish plazmasida, elektron-yoy usuli bilan va lazer bilan CVD metallizatsiyasi uchun boshlang'ich materiallarni tanlash printsiplari tavsiflangan . Radioelektronika, elektron muhandislik, mashinasozlik, aviatsiya, astronavtika va boshqa fan va texnologiyalar sohalarida ishlatiladigan funktsional metall plyonkalar, qoplamalar va mo'ylovlarni olish bo'yicha materiallar keltirilgan . Metalllarni turli xil modifikatsiyalar ko'rinishida olishni istagan odamlar uchun, organometalik birikmalar bilan ishlaydigan va ularni issiqlik dissotsilanish usullariga ixtisoslashgan kimyogarlar. O'rnatish va mahsulotlar Yuqori haroratli vakuumli sinterlash pechlari Gaz bosimli sinterlash pechlari Issiq vakuumli presslar Plazma bilan sinterlanadigan o'simliklar uchquni CVD / CVI qoplama tizimlari CVD 30 JVD 175 CVD 900 VVD 2500 Maxsus tizimlar Ishlatilgan sinter o'simliklari CVD / CVI qoplama tizimlari Bug ' kimyoviy birikmasi va gaz fazasi infiltratsiyasi Gaz fazasini cho'ktirish orqali termik ravishda hosil bo'lgan (ing.: Kimyoviy bug ' birikmasi , CVD) kichik yoki katta qatlamlarga turli dielektrik, yarim o'tkazgich va metall materiallarning (mono- / polikristalli, amorf yoki epitaksial holatdagi) bir xil qatlamlarini yotqizish ehtimoli katta. . Oddiy qoplama materiallari, boshqalar qatori, pirolitik uglerod, kremniy karbid, bor nitridi. Sintetik xom ashyoni ishlatish tufayli qoplamalar ultrafure bo'lib, ular yarimo'tkazgich sanoatining barcha odatiy talablariga javob beradi. Jarayon parametrlariga qarab, qoplama qalinligining keng diapazoni mumkin: qalinligi bir yoki bir nechta atomlardan qalinligi bir necha nanometrgacha bo'lgan qattiq himoya yoki funktsional qoplamalarga, yuzlab mikrometrgacha va bundan tashqari, monolitik mahsulotlarga qalinligi bir necha millimetr. Gaz fazasining termik ta'sirli infiltratsiyasi (ing.: Kimyoviy bug ' infiltratsiyasi , CVI) - yaxshilangan mexanik xususiyatlarga ega bo'lgan kompozit materiallarni ishlab chiqarish nuqtai nazaridan matritsa materialini g'ovakli yoki tolali preformlarga singdirish uchun CVD usuli texnologiyasiga asoslangan, korroziyaga chidamliligi, termal zarbalarga chidamliligi va past ichki stress. Har xil o'lchamdagi va kompozitsiyalardagi murakkab shakllarni ishlab chiqarish mumkin. Bir nechta gaz teshiklari o'rtasida almashinish orqali matritsaning o'ziga xos cho'kishini boshlashdan oldin g'ovakli yoki tolali preformlarni ko'p qatlamli chegara qoplamalari bilan qoplash mumkin . Download 51.65 Kb. Do'stlaringiz bilan baham: |
Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling
ma'muriyatiga murojaat qiling