Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash
Download 51.65 Kb.
|
Bug 1000
- Bu sahifa navigatsiya:
- Kremniy nitridi
- Metalllar
|
Silikon dioksid [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]
Kremniy dioksidi (ko'pincha yarimo'tkazgich sanoatida shunchaki "oksid" deb yuritiladi ) bir necha xil jarayonlarda yotqizilishi mumkin. Reaksiyalar quyidagicha: SiH 4 + O 2 → SiO 2 + 2 H 2 SiCl 2 H 2 + 2 N 2 O → SiO 2 + 2 N 2 + 2 HCl Si (OC 2 H 5 ) 4 → SiO 2 + yon mahsulotlari Kremniy nitridi [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Silikon nitrit ko'pincha integral mikrosxemalarni ishlab chiqarishda izolyator va kimyoviy to'siq sifatida ishlatiladi . Quyidagi ikkita reaktsiyadan foydalaniladi: 3 SiH 4 + 4 NH 3 → Si 3 N 4 + 12 H 2 3 SiCl 2 H 2 + 4 NH 3 → Si 3 N 4 + 6 HCl + 6 H 2 SiNH yotqizish uchun plazmadagi jarayonlarda quyidagi ikkita reaksiya qo'llaniladi : 2 SiH 4 + N 2 → 2 SiNH + 3 H 2 SiH 4 + NH 3 → SiNH + 3 H 2 Metalllar [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Asosiy maqola: Gazsimon fazadan organometalik birikmalarning cho'kishi CVD molibden , tantal , titan , nikel va volframni yotqizish uchun keng qo'llaniladi . Kremniyga qo'llanganda, bu metallar foydali silikonlarni hosil qilishi mumkin. Mo , Ta va Ti o'zlarining pentaxloridlaridan LPCVD ishlab chiqaradi . Ni , Mo , W past haroratlarda karbonil kashshoflaridan olinishi mumkin . Umuman olganda, metall M uchun reaktsiya quyidagicha ko'rinadi: 2 MCl 5 + 5 H 2 → 2 M + 10 HCl Odatda volfram manbai geksaflorid volframga aylanadi , bu ikki xil ta'sir ko'rsatadi: WF 6 → W + 3 F 2 WF 6 + 3 H 2 → W + 6 HF Shuningdek qarang [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Vakuumli purkash (PVD jarayoni) Termal püskürtme Atom qatlamini cho'ktirish Termal oksidlanish Ion paxmoq Eslatmalar [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] ↑ Strelnitsky V.E., Aksenov I.I. Film olmos kabi uglerod. - Xarkov: IPP «Kontrast, 2006 yil. Adabiyot [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Xyu O. Pierson. Bug'larni kimyoviy cho'ktirish bo'yicha qo'llanma 1999. ISBN 978-0-8155-1432-9 . Sirkin V.G. KVD usuli. Bug ' kimyoviy birikmasi . - M.: Nauka, 2000. - 482 p. - ISBN 5-02-001683-7 . Ivanovskiy G.F., Petrov V.I. Ion-plazma bilan ishlov berish. - M.: Radio va aloqa, 1986. - 232 p. Danilin B.S. Yupqa plyonkalarni cho'ktirish uchun past haroratli plazmadan foydalanish. - M.: Energoatomizdat , 1989. - 328 p. CVD usuli. Bug ' kimyoviy birikmasi ISBN: 5-02-001683-7 Nashriyotchi: Ilm-fan Yil: 2000 yil Download 51.65 Kb. Do'stlaringiz bilan baham: 
|