Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash

Bug'ning fizik xususiyatlari bo'yicha tasniflash [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]

• 
  CVD jalb aerozol ( . Engl Aerosol yordamidagi Kimyoviy bug ' cho'kma ( AACVD ) ) - bo'lib, yurak va tomir kasalliklari-jarayon solishgan shaklida substrat uzatiladi aerosole turli yo'llar bilan hosil bo'lishi mumkin, misol uchun, ultratovush .  
  
• 
  CVD to'g'ridan-to'g'ri suyuqlik quyish ( inglizcha . To'g'ridan-to'g'ri suyuqlik quyish kimyoviy bug ' cho'kmasi ( DLICVD ) ) - KVK -jarayoni, unda kashshof suyuqlik fazasiga (sof holda yoki erituvchida eritiladi). Suyuqlik kameraga injektor orqali yuboriladi (ko'pincha avtomobillarda ishlatiladi). Ushbu texnologiya yuqori plyonkali ishlash ko'rsatkichlariga erishishga imkon beradi.   
  

Plazma usullari [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]
Asosiy maqola: Plazma kimyoviy bug 'cho'kmasi 

• 
  Plasma CVD rivojlangan ( . Engl plazma rivojlangan kimyoviy bug ' cho'kma ( PECVD ) ) a foydalanadi CVD-jarayonini - plazma parchalab tashlaydi prekursorlarining , substrat yuzasi va ion faollashtirish yordam . Substrat sathining yuqori samarali harorati tufayli ushbu usul past haroratlarda ishlaydi va muvozanat sintezi sharoitlari substratlarning haddan tashqari qizib ketishiga yo'l qo'yilmasligi yoki boshqa sabablarga ko'ra boshqa usullar bilan erishib bo'lmaydigan qoplamalarni olish imkonini beradi. Xususan, ushbu usul olmos plyonkalarini ^[ en ] va hatto nisbatan qalin buyumlarni, masalan, optik tizimlar uchun oynalarni muvaffaqiyatli ishlab chiqaradi ^[1] .  
  
• 
  Mikroto'lqinli plazma CVD faollashtirilgan ( Engl. Mikroto'lqinli plazma kimyoviy bug 'cho'kma (MPCVD) ).
  
• 
  Kuchaytirilgan bilvosita plazma CVD ( inglizcha . Remote plazma - Kengaytirilgan CVD ( RPECVD ) ) - PECVD dan farqli o'laroq, parchalanish faqat tushirish plazmasining kashshofida sodir bo'ladi , shu bilan birga substratning o'zi ta'sir qilmaydi. Bu substratning radiatsion zararlanishini istisno qilishga va unga issiqlik ta'sirini kamaytirishga imkon beradi. Bunday rejim parchalanish va cho'kma hududlarini fazoviy ajratish hisobiga ta'minlanadi va plazma lokalizatsiyasining turli usullari bilan to'ldirilishi mumkin (masalan, magnit maydonlarni ishlatish yoki gaz bosimini oshirish).