Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash
Download 51.65 Kb.
|
Bug 1000
- Bu sahifa navigatsiya:
- Kimyoviy bug chokmasi (CVD)
- Bosim tasnifi
Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Vikipediyadan, bepul ensiklopediya Sahifaning amaldagi versiyasi hali tajribali ishtirokchilar tomonidan ko'rib chiqilmagan va 2016 yil 30 aprelda ko'rib chiqilgan versiyadan sezilarli farq qilishi mumkin ; cheklar 6 ta tahrir qilishni talab qiladi . O'tish Navigatsiya o'tish qidirish uchun Plazma PECVD ( Plazma Enhanced CVD) laboratoriyasida uglerod nanotubalarining o'sishini tezlashtiradi . Kimyoviy bug 'cho'kmasi (CVD) ( kimyoviy bug' fazasi cho'kmasi , ingl. Kimyoviy bug ' cho'kmasi , CVD ) - yuqori qattiq moddalarni olish uchun ishlatiladigan jarayon. Jarayon ko'pincha yarimo'tkazgich sanoatida nozik plyonkalar yaratish uchun ishlatiladi . Odatda, yurak va tomir kasalliklari jarayoni bir joylashadi pastki qatlam munosabat va / yoki substrat yuzasida kerakli moddani ishlab chiqarish parchalab bir yoki bir necha moddalar bug'lari, ham. Gazli reaktsiya mahsuloti ham tez-tez hosil bo'ladi, kameradan gaz oqimi bilan amalga oshiriladi. CVD jarayoni yordamida turli xil tuzilmalar materiallari ishlab chiqariladi: bitta kristallar , polikristallar , amorf jismlar va epitaksiallar . : Materiallarning misollar kremniy , uglerod tolasi , uglerod nanolif , uglerod nanoparchaning , Grafen , SiO 2 , volfram , kremniy karbid , kremniy nitrid , titanium nitrit , turli DIELEKTRIKLAR va sintetik olmos . Tarkib 1 CVD turi 1.1 Bosim bo'yicha tasniflash 1.2 Bug'ning fizik xususiyatlari bo'yicha tasniflash 1.3 Plazma usullari 1.4 Boshqa usullar 2Mikroelektronika uchun materiallar 2.1 Polikristalli kremniy 2.2 Silikon dioksid 2.3 Silikon nitrid 2.4 Metallar 3Qarang shuningdek 4 Izohlar 5 Adabiyot 6Linklar CVD turlari [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Issiq devorli CVD Plazmadagi kimyoviy bug 'cho'kmasi CVD ning turli xil turlari keng qo'llaniladi va ular adabiyotda tez-tez tilga olinadi [ qaysi? ] . Jarayonlar kimyoviy reaktsiyalarni qo'zg'atish usuli va jarayon sharoitida farq qiladi. Bosim tasnifi [ tahrirlash | kodni tahrirlash ] Atmosfera bosimida CVD ( ing . Atmosferic Pressure kimyoviy bug ' birikmasi ( APCVD ) ) - atmosfera bosimida CVD jarayoni sodir bo'ladi. Kamaytirilgan bosim ostida CVD ( ingliz. Past bosimli kimyoviy bug ' cho'kmasi ( LPCVD ) ) - submosfera bosimida CVD-jarayon. Kamaytirilgan bosim gaz fazasidagi kiruvchi reaktsiyalar ehtimolini pasaytiradi va plyonkaning substratga bir tekis joylashishiga olib keladi. Zamonaviy CVD o'rnatmalarining aksariyati LPCVD yoki UHVCVD. Vakuum CVD ( ing . Ultra yuqori vakuumli kimyoviy bug ' cho'kmasi ( UHVCVD ) ) - CVD jarayoni juda past bosimlarda, odatda 10-6 Pa (~ 10 -4 mmHg .. ) ostida ishlaydi. Download 51.65 Kb. Do'stlaringiz bilan baham: |
Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling
ma'muriyatiga murojaat qiling