Bug 'kimyoviy birikmasi [ tahrirlash


Download 51.65 Kb.
bet4/6
Sana21.01.2023
Hajmi51.65 Kb.
#1106161
1   2   3   4   5   6
Bog'liq
Bug 1000

Silikon dioksid [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]
Kremniy dioksidi (ko'pincha yarimo'tkazgich sanoatida shunchaki "oksid" deb yuritiladi ) bir necha xil jarayonlarda yotqizilishi mumkin. Reaksiyalar quyidagicha:
SiH + O → SiO + 2 H 2
SiCl + 2 N O → SiO + 2 N + 2 HCl
Si (OC → SiO + yon mahsulotlari
Kremniy nitridi [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]
Silikon nitrit ko'pincha integral mikrosxemalarni ishlab chiqarishda izolyator va kimyoviy to'siq sifatida ishlatiladi . Quyidagi ikkita reaktsiyadan foydalaniladi:
3 SiH + 4 NH → Si + 12 H 2
3 SiCl + 4 NH → Si + 6 HCl + 6 H 2
SiNH yotqizish uchun plazmadagi jarayonlarda quyidagi ikkita reaksiya qo'llaniladi :
2 SiH + N → 2 SiNH + 3 H 2
SiH + NH → SiNH + 3 H 2
Metalllar [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]
Asosiy maqola: Gazsimon fazadan organometalik birikmalarning cho'kishi 
CVD molibden , tantal , titan , nikel va volframni yotqizish uchun keng qo'llaniladi . Kremniyga qo'llanganda, bu metallar foydali silikonlarni hosil qilishi mumkin. Mo , Ta va Ti o'zlarining pentaxloridlaridan LPCVD ishlab chiqaradi . Ni , Mo , W past haroratlarda karbonil kashshoflaridan olinishi mumkin . Umuman olganda, metall uchun reaktsiya quyidagicha ko'rinadi:
2 MCl + 5 H → 2 M + 10 HCl
Odatda volfram manbai geksaflorid volframga aylanadi , bu ikki xil ta'sir ko'rsatadi: 
WF → W + 3 F 2
WF + 3 H → W + 6 HF
Shuningdek qarang [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]

  • Vakuumli purkash (PVD jarayoni) 

  • Termal püskürtme

  • Atom qatlamini cho'ktirish

  • Termal oksidlanish

  • Ion paxmoq

Eslatmalar [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]

    1. ↑ Strelnitsky V.E., Aksenov I.I. Film olmos kabi uglerod. - Xarkov: IPP «Kontrast, 2006 yil.

Adabiyot [ tahrirlash | kodni tahrirlash ]

  • Xyu O. Pierson. Bug'larni kimyoviy cho'ktirish bo'yicha qo'llanma 1999. ISBN 978-0-8155-1432-9 . 

  • Sirkin V.G. KVD usuli. Bug ' kimyoviy birikmasi . - M.: Nauka, 2000. - 482 p. - ISBN 5-02-001683-7 .

  • Ivanovskiy G.F., Petrov V.I. Ion-plazma bilan ishlov berish. - M.: Radio va aloqa, 1986. - 232 p.

  • Danilin B.S. Yupqa plyonkalarni cho'ktirish uchun past haroratli plazmadan foydalanish. - M.: Energoatomizdat , 1989. - 328 p.

CVD usuli. Bug ' kimyoviy birikmasi



ISBN:
5-02-001683-7
Nashriyotchi:
Ilm-fan
Yil:
2000 yil

Download 51.65 Kb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling