Казанский

глощать энергию поля. Компонента скорости электрона, соответствующая

его хаотическому движению, может нарастать от столкновения к столкно-

вению до тех пор, пока энергия электрона не станет достаточной для иони-

зирующего столкновения с атомом газа. Высокое напряжение на катоде,

необходимое для получения вторичных электронов в случае разряда в по-

стоянном токе, не обязательно для поддерживания ВЧ разряда.

Постоянный потенциал ВЧ – плазмы

Механизм поглощения электронами энергии ВЧ поля для случая ио-

нов, которые не могут приобрести в таком поле энергию большую, чем не-

сколько электрон-вольт, неприменим. Кроме того, как уже указывалось,

нет необходимости использовать высокие напряжения для поддержания

ВЧ разряда, так как такой разряд не зависит от числа вторичных электро-

нов, эмитируемых с электродов. Поэтому на первый взгляд может пока-

заться, что в ВЧ разряде нет ионов, обладающих энергией, необходимой

для ионного распыления мишени.

Дрейфовые скорости и амплитуды колебаний ионов на два порядка

меньше, чем соответствующие значения для электронов. Следовательно,

наличие на электроде (мишени) только ВЧ- напряжения не может привести

к распылению, поскольку при этом возникает лишь колебательное движе-

ние ионов с очень малой амплитудой.

В большей части разрядного промежутка плазма электронейтральна.

Однако около электродов электронный газ, совершая колебания относи-

тельно ионов, периодически лишает положительные заряды ионов элек-

37

тронного окружения. Это является первопричиной появления приэлек-

тродных слоев пространственного заряда. На Рис.12 схематически изобра-

жена картина колебаний электронов, построенная в предположении: