Казанский

n₊=const; n_e=0 в приэлектродных слоях; n₊=n_e в плазме. Например, в мо-мент t=0, плазма заполняет среднюю часть промежутка, и около электро-дов образуются одинаковые положительно заряженные слои толщины А. Через четверть периода, при t=/2, электроны сдвинулись до конца впра-во, и у левого электрода обнажился ионный слой толщины 2А.

Рис.12. Схема колебаний электронного газа (n₊, n_e – плотность ионов и электронов, соответственно), электрического поля Е и потенциала  в разрядном промежутке (а-г). Приведены также средние значения за период (д)

Поскольку в газовом промежутке появляется нескомпенсированный поло-

жительный заряд, электронейтральная плазма обладает неким постоянным

положительным потенциалом V по отношению к электродам. Он равен

среднему за период потенциалу плазмы (потенциалы электродов в среднем

равны нулю). Это замечательное свойство ВЧ- разряда лежит в основе всех

38



его приложений для ионной обработки материалов. Ионы, вылетающие из

плазмы вследствие всегда существующего теплового движения, ускоряют-

ся в постоянном среднем поле Е=V/A, и бомбардируют мишень, помещен-

ную на один из электродов. Чтобы ионы летели строго перпендикулярно к

поверхности, что крайне желательно для современной технологии, давле-

ние делают низким, чтобы исключить по возможности рассеивающие

столкновения ионов с молекулами. В этом случае и энергетический спектр

ионов менее размыт, так как энергия большинства ионов соответствует

разности потенциалов V.