Oxygen in Silicon Single Crystals

Глава 1. Монокристаллический кремний.
Способы получения 7

1. 
   Выращивание монокристаллов кремния по методу Чохральского; преимущества и недостатки 7
   
2. 
   Выращивание монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки; преимущества, недостатки
   

и перспективы его применения 9

3. 
   Контролируемое содержание и распределение кислорода
   

в монокристаллах кремния 10
Глава 2. Кислород - основная фоновая примесь в монокристаллах
кремния выращенных по методу Чохральского 14

1. 
   Внедрение примеси кислорода в кристалл кремния
   

в процессе выращивания 14

2. 
   Распределение примеси кислорода в кристалле кремния
   

при выращивании 16

3. 
   Микрораспределение примеси кислорода
   

в кристаллах кремния 21

4. 
   Методы исследования кислорода в кремнии 24
   

Глава 3. Свойства кислорода в кремнии 33

1. 
   Положение атомарного кислорода в кристаллической
   

решетке кремния и его колебательный спектр ИК-поглощения 33

2. 
   Растворимость кислорода в кремнии 38
   
3. 
   Особенности растворимости кислорода в кремнии
   

при низких температурах 42

4. 
   Диффузия кислорода в кремнии 46
   
5. 
   Теоретическое описание процессов диффузии кислорода
   

в кремнии 47

6. 
   Экспериментальное определение коэффициента диффузии кислорода в кремнии 51
   
7. 
   Особенности диффузии кислорода в кремнии при низких температурах 54
   
8. 
   Изменение состояния кислорода в кристалле кремния при одновременном воздействии температуры и высокого давления 62
   
9. 
   Взаимодействие дислокаций с кислородом в кристалле кремния 64