O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

6.4. Elastik qaytgan elektronlar mikroskopining tuzilishi va ishlash 
tamoyillari 
Elektronlar oqimini o‘tqazmaydigan massiv namuna sirtini bevosita kuzatish 
uchun maxsus turdagi elektron mikroskop yaratilgan. Akslanuvchi mikroskopning 
JISM 
Elektronlar to‘plami 
Sochilgan elektronlar
Apertur diafragma
Oraliq tasvirga
S 
S 
N 
N 

---

159 
optik kattalashtirish tizimi (6.11 – rasm) yorituvchi turdagi mikroskop kabi bo‘lib, 
biroq jismni tasvirini hosil qilishga olib keluvchi, jismni elektron to‘plam bilan 
o‘zaro ta’sirlashishi o‘zgacha bo‘ladi. Akslanuvchi mikroskopda tekshirilayotgan 
namuna, uning sirtiga ma’lum burchak ostida tushuvchi elektron to‘plam bilan 
nurlantiriladi. Jismning tasviri akslangan, aniqrog‘i namuna sirtidan sochilgan 
elektronlar hosil qiladi. 
Akslangan to‘plamdagi tok zichligining taqsimoti sirt relefiga bog‘liq 
bo‘ladi (6.12 – rasm). Shuning usun ekrandagi yakuniy tasvir ma’lum darajada shu 
relefni tasvirlaydi.
 
 
 
 
6.11 – rasm. Akslanuvchi magnit elektron mikroskop sxemasi: 1 – Elektron to‘p; 2 
– kondensor linza; 3 – namuna; 4 – obektiv linza; 5 – proyeksion linza; 6 – oraliq 
tasvir; 7 – yakuniy tasvir. 
 
Tasvirni olishdagi xatolikka quyidagi holat sabab bo‘ladi, ya’ni elektronlar 
namuna sirti bilan o‘zaro ta’sirlashganda o‘z energiyasini turli darajada yo‘qotadi.
 
6.12. – rasm. Akslanuvchi mikroskopda elektronlar zichligining taqsimoti
 
 
1 
2 
3 
4 
6 
5 
7 

2


---

160 
Buning natijasida akslangan to‘plam monoenergiyali bo‘lmaydi. Akslangan 
to‘plamda energiya farqlanishi katta bo‘ladi. Uni tushuvchi va akslangan 
elektronlarni, namuna sirti bilan hosil qilgan burchakni kamaytirish bilan erishiladi 
(mos ravishda 

1
va 

2
). Kichik burchaklarda (

1
,

1

8°) farqlanish kattaligi 80 
keV energiyali elektronlar uchun 100 eV ni tashkil qiladi (6.13 – rasm). Bu esa 
tushush tekisligiga perpendikulyar yo‘nalishda bir necha 100 angstremga teng 
bo‘lgan ajratishni beradi. Namuna sirtiga kichik burchak ostida tushuvchi va 
akslanuvchi elektron to‘plamlarga ega bo‘lgan akslanuvchi mikroskoplar 
qo‘llaniladi. Bunday mikroskoplarda obektiv o‘qi tekshirilayotgan namuna 
tekisligi bilan

2 
burchak hosil qiladi. Jismga tushuvchi elektron to‘plam shu o‘q 
bilan 

burchakni tashkil qiladi va 8 - 12° ga teng bo‘ladi. Kerakli elektron to‘plam 
yo‘nalishini olish uchun mikroskopning yorituvchi tizimi obektiv o‘qiga nisbatan 
og‘dirilgan holda joylashtiriladi. 
 
6.13. – rasm. Akslanuvchi elektron mikroskopda jismga elektron to‘plamni og‘ma 
tushushi: O – obektiv; D – obektivning fokal tekisligi. 
 
Akslanuvchi mikroskopning kamchiligi, elektron to‘plamning og‘ma 
tushushi bilan bog‘liq bo‘lgan tasvir buzilishidir. To‘plamning bunday yo‘li tufayli 
tushush tekisligiga parallel yo‘nalishdagi sirt o‘lchami, shu tekislikka 
perpendikulyar bo‘lgan tasvir o‘lchamiga nisbatan kichiklashgan bo‘ladi. 
Darhaqiqat, agar mikroskop optik tizimining kattalashtirishi М ga teng bo‘lsa, u 

1

2

=

1
+

2

---

161 
holda tushush tekisligiga perpendikulyar bo‘lgan jism sirtida yotuvchi а 
uzunlikdagi tasvir qismi Ма bo‘ladi. Tushush tekisligiga parallel joylashgan xudi 
shu uzunlikdagi tasvir Ма sin

2 
o‘lchamga ega bo‘ladi. Bu yerda 

2 
– akslangan 
elektronni namuna sirti bilan hosil qilgan burchak. Shunday qilib, birinchi holatda 
kattalashtirish 
M
M


bo‘lsa, ikkinchi holatda 
2
sin

M
M


bo‘ladi. 
Bundan tashqari o‘lcham jasmning ko‘tariluvchi qismlarida ham o‘zgaradi. h 
balanlikka ega ko‘tariluvchi qism tasvirining uzunligi Мh cosα
2
teng bo‘ladi. Bu 
holatda kattalashtirish Мh cosα
2
ga teng bo‘ladi. 
Akslanuvchi elektron mikroskopning eng katta kamchiligi ajrata olishning 
cheklanganli va tasvirning deformatsiyalanishiga qaramasdan, u shaffof bo‘lmagan 
jism sirtini bevosita kuzatishda eng samarali uskuna bo‘lib hisoblanadi. 
Akslanuvchi mikroskop yordamida temir namunanig tasviri 6.14 – rasmda 
keltirilgan.