O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

O‘tuvchi elektronlarga asoslangan (yorituvchi elektron) mikroskop 
qurilmasi. Yorituvchi elektron mikroskop murakkab optik mikroskopning elektron 
anologidir (6.9 – rasm). Bunday mikroskoplar 1930 yillarda ENT asosidagi 
displeyni tayyorlashda qo‘laniladigan texnologiyalardan foydalanilgan xolda 
yaratilgan. Bunda yupqa namuna bir tomondan nurlantiruvchi tizim xosil qilgan,
ma’lum bir energiyadagi bir jinsli elektron to‘plam bilan nurlantiradi. Namunaning
boshqa tomonidagi quvvatli obyektiv linzalar tasvirni hosil qiladi. Obektiv 
orqasida proyeksion tizim joylantirilgan bo‘lib, uning vazifasi namuna tasvirini 
ko‘z ko‘rishi mumkin bo‘lgan o‘lchamgacha kattalashtirgan holda fluoressent
xosil qiladi.
Tasvirni yozish uchun fluoressent ekran, fotoplenka yoki fotoplastika bilan 
almashtiriladi. Namunaning qalinligi uni nurlantiruvchi elektronning o‘rtacha erkin 

---

155 
yurish yo‘lidan kichik bo‘lishi kerak. Namunaning qalinligi iloji boricha yupqa 
bo‘lishi kerak, aks xolda yuqori ajrata olish imkoniyati va elektron mikroskopning 
keskinlik chuqurligining kattaligi sababli tasvirda ko‘p miqdorda bir birining 
ustiga tushgan elementlar xosil bo‘ladi. Namunaning qalinligi ajrata olish imkoni 
kattaligidan 
10 
marta 
oshmasligi 
kerak. 
Metall 
qotishmalar 
va 
yarimo‘tkazgichlarning 10-100 mm qalinlikdagi pardalarni olish uchun 
mikroyemirish usulidan foydalaniladi. Kattalashtirilgan tasvirning kontrastligi 
namuna orqali o‘tuvchi elektronlarni bir qismini atom bilan to‘qnashishi xisobiga 
erishiladi. Bunda elektron sochiladi yoki ularni energiyasi kamayadi. Tasvirni 
yozish uchun fluoressent ekran, fotoplenka yoki fotoplastika bilan almashtiriladi. 
Namunaning qalinligi uni nurlantiruvchi elektronning o‘rtacha erkin yurish
yo‘lidan kichik bo‘lishi kerak. Namunaning qalinligi iloji boricha yupqa bo‘lishi 
kerak, aks holda yuqori ajrata olish imkoniyati va elektron mikroskopning 
keskinlik chuqurligining kattaligi sababli tasvirda ko‘p miqdorda bir birining 
ustiga tushgan elementlar xosil bo‘ladi. Namunaning qalinligi ajrata olish imkoni 
kattaligidan 
10 
marta 
oshmasligi 
kerak. 
Metall 
qotishmalar 
va 
yarimo‘tkazgichlarning 10-100 mm qalinlikdagi pardalarni olish uchun 
mikroyemirish usulidan foydalaniladi. Kattalashtirilgan tasvirning kontrastligi 
namuna orqali o‘tuvchi elektronlarni bir qismini atom bilan to‘qnashishi hisobiga 
erishiladi. Bunda elektron sochiladi yoki ularni energiyasi kamayadi.
Sochilgan elektronlarni tasvirni fokal tekisligiga yig‘ish uchun ob’yektiv 
linzada apertura diafragmasi joylashtiriladi. Yorituvchi elektron mikroskopda 
apertura diafragmasi tasvirni hosil mexanizmida muhim rol o‘ynaydi. U tomonidan 

ют
katta burchakka og‘gan elektronlarni yutib oladi. Bu esa fluoressent ekranda 
fon hosil bo‘lishini oldini oladi. Shuningdek apertura ob’yektiv linzaning sferik 
aberratsiyasini kamaytiruvchi vosita hisoblanadi. Uning o‘lchami sferik aberratsiya 
xisobiga tasvirning yoyilishi difraksiyadagidek bo‘lguncha kichraytiriladi. 
Aperturaning o‘lchamini yanada kichaytirish, tasvirni difraksion yoyilishini 
oshishiga olib keladi. Elektronlar energiyasi qanchalik katta bo‘lsa, ularning to‘lqin 
uzunligi shunchalik kichik bo‘ladi. Bunga bog‘liq ravishda apertura shunchalik 

---

156 
kichik bo‘ladi. Odatiy 10 – 100 kV ishchi kuchlanishlarda optimal apertura 
burchagi 0,5

bo‘lishi kerak. Obyektiv linzasining 2 mm fokus masofasiga 40 mkm 
diametrli apertura diafragmasi mos keladi. 
Venelta elektrodi 
Katodning qizdirish tolasi 
Krossover 
Anod 
Birinchi 
kondensor 
linzasi (magnitli) 
Ikkinchi 
kondensor 
linzasi (magnitli) 
Namuna
Kondensor
aperturasi 
Obektiv 
aperturasi 
Obektiv linzasi 
(magnitli) 
Oraliq linzasi 
(magnitli) 
Proyeksion linzasi 
(magnitli) 
Fluoressent ekran yoki 
fotografik plastinka 
6.9 – rasm. Yorituvchi elektron mikroskopning 
sxematik tasviri. 

---

157 
Fluoressent ekranda tasvirni ko‘rish yoki foto plastinkaga uni tasvirini olish 
uchun namunani nurlantiruvchi elektronlarning intensivligi iloji boricha katta 
bo‘lishi kerak. Nurlantiruvchi tizim shu xolatni hisobga olgan holda ishlab 
chiqariladi va turli konstruksiyaga ega bo‘lishi mumkin. Odatda u elektrostatik uch 
elektrodli manbadan iborat bo‘lib, undan so‘ng ikkita magnit linzali kondensor 
joylashtiriladi. Uch elektrodli manbaning katod va anod orasida krossover hosil 
qilinadi va elektronlar to‘plamining anoddan chiqqandagi yoyilganlik 10
-2
rad 
(0,5

) tashkil qiladi. 
Birinchi kondensorning linzasi pastki o‘ram ichida krossoverning 
kichiklashtirilgan tasvirini hosil qiladi. Bu tasvir namunani nurlantiruvchi dog‘ni 
olish uchun ikkinchi kondensor linzasi tomonidan kattalashtiriladi (kattalashtirish 
koeffitsiyenti 1 – 2 oraliq atrofida). Bu dog‘ning diametri ikkinchi kondensor 
linzadagi magnit maydoni kuchlanganligini o‘zgartirish bilan boshqariladi. 
Dog‘ning diametri ko‘rilishi kerak bo‘lgan yuzadan katta bo‘lishi kerak emas. 
To‘plam tokining zichligi kondensorning apertura o‘lchami, manba 
elektrodlaridagi kuchlanish va katoddan emissiyaning maksimal ravshanligi bilan 
aniqlanadi. Birinchi kondensor linzasi to‘plam krossoverini 10 – 15 marta 
kamaytiradi. Namunadagi nurlantiruvchi dog‘ diametrini V – shakli katod 
cho‘lg‘ami ishlatilganda, 1 mkm gacha kamaytirilishi mumkin. Agarda yanada 
kamaytirish talab qilinsa, elektronlarning nuqtaviy manbalari ishlatiladi. 
Obyektiv linzasi kichik fokus masofaga ega bo‘lib, uni 1 mm qilish mumkin. 
Namuna bevosita fokusga joylashtiriladi. 200000 marta kattalashtirish uchun 
ob’yektiv, oraliq va proyeksion linzalar orasidagi kattalashtirishlarning nisbati 
100:20:100 ga teng qilib olinadi. Oraliq linzaning vazifasi mikroskopning 
uzunligini faqatgina proyeksion linzaning o‘zi ishlatilgan mikroskopga qaraganda 
kichiklashtiradi. Bu bilan 1mm kichik fokus masofali magnit linzani yaratish 
qiyinchiligidan holi bo‘linadi. Kondensor va kattalashtiruvchi tizimlarda magnit 
linzalar qo‘llaniladi, chunki ularda elektrostatikga nisbatan kichik aberratsiyaga 
erishiladi. 

---

158 
Yoritilgan elektron mikroskopda namuna va barcha linzalarning o‘q 
joylashuvi qo‘zg‘almas qilib o‘rnatilgan. Fokuslash va kattalashtirish obyektiv, 
oraliq va proyeksion linzalarning fokus masofasini o‘zgartirish bilan boshqariladi. 
Bunda fokus masofa linzalarning magnit o‘ramlari orqali oqib o‘tayotgan tokni 
o‘zgartirish bilan amalga oshiriladi (6.10 – rasm). Shuning uchun manba 
elektrodlaridagi tok va kuchlanishlarning turg‘unligi, mikroskopning ishlashida 
muhim ahamiyatga egadir. Bundan tashqari linza va aperturaning optik o‘qining 
yustirovkasi yuqori aniqlikda qilinishi kerak. 
 
 
 
 
6.10 – rasm. Yoritilgan elektron mikroskopda namuna va barcha linzalarning o‘q 
joylashuvi. 
Yoritilgan elektron mikroskopda yordamida sirt strukturasini kuzatishda 
ikkita usuldan foydalaniladi. Yupqa namunalar uchun qorong‘ulash (soyalash) 
usuli ishlatilsa, qalin namunalarda esa nusxa olish usulidan foydalaniladi.