O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

 
3.4. Kichik energiyali elastik qaytgan elektronlar spektroskopiyasi 
Kichik energiyali (Е
р 
= 0 – 50 эВ) sohada 

(Е
р
), R(Е
р
) yoki 

(Е
р
) egri 
chiziqlarini o‘rganish qattiq jism sirtining elektron va kristall tuzilishi haqida 
noyob ma’lumotlar berishi mumkin. Bunday ma’lumotlar olish uchun ko‘pincha 

(Е
р
) yoki R(Е
р
) bog‘lanishlarning birinchi tartibli hosilasi avtomatik ravishda 
yozib olinib, ularda hosil bo‘ladigan maksimum va minimumlar o‘rganiladi. Bu 
usul to‘la toklar spektroskopiyasi (TTS) yoki kichik energiyali elastik qaytgan 
elektronlarning spektroskopiya (KEEAES) usuli deb ataladi.
Birlamchi elektronlarning kichik energiyali sohasida haqiqiy ikkilamchi va 
elastik qaytgan birlamchi elektronlar koeffitsiyentlarining energiyaga va chiqish 
burchagiga bog‘liqlik egri chizig‘ida faqatgina monokristall namunalar uchun 
emas, hatto polikristall va amorf moddalar uchun ham yaqqol namoyon bo‘ladigan 
notekisliklar kuzatiladi. Bu hodisa plazmonlar o‘yg‘onishi energiyaviy chegarasida 
elektronlarning rezonansli elastik sochilishi deb ataladi. Bunday notekisliklarni 
o‘rganishga va vujudga kelish sabablarini aniqlashga ko‘pgina nazariy va 
tajribaviy ishlar bag‘ishlangan.
Elektronlarning elastik qaytishiga ta’sir qiluvchi asosiy sabablar quyidagilar 
hisoblanadi: 
1) 
qattiq jism – vakuum chegarasidagi potensial baryer; 
2) 
noelastik sochilish kanallarining mavjudligi; 

---

79 
3) 
zonalararo va sohalararo o‘tishlarning uyg‘onishi; 
4) 
elektronlarning alohida atomlar bilan yakkazarrali o‘zaro ta’siri; 
5) 
sekinlashgan elektronlarning plazmonlardan rezonansli elastik 
sochilishi;
6) 
monokristall materiallarda esa bulardan tashqari tartibli joylashgan
atomlardan elektronlarning difraksiyasi. 
Sochilish va noelastik kanallarning ko‘plab mexanizmlari mavjudligi tufayli 
elektronlarning elastik qaytishiga yuqorida qayd etilgan har bir faktorning qay 
darajada ta’sir etishini aniq aytish mumkin emas. Shu sababli ham hozirgi 
vaqtgacha berilgan sirt uchun R(E
P
) grafigini nazariy hisoblash imkonini beruvchi 
elektronlar elastik qaytishining tugallangan nazariyasi ishlab chiqilmagan.
Shunday bo‘lsa ham tajribaviy natijalar majmuasi va ba’zi nazariy tahlillar 
ya’ni oldindan aytib berish kichik energiyalar sohasida R(Е
Р
) va mos ravishda 

(Е
Р
) bog‘liqlik egri chiziqlaridagi notekisliklarning shakllanishida asosiy sabablar 
rolini aniqlash imkonini beradi: 
1. Qattiq jismning alohida-alohida atomlaridan elektronlarning kvanto 
mexanik sochilishi R(EP) egri chizig‘ida keng (

Е 

10 

15 эВ) 
maksimumlar paydo bo‘lishiga olib keladi. 
2. Elektronlarning monokristallar kristall panjarasida difraksiyalanishi
R(EP) egri chizig‘ida ancha tor (

Е 

2 

5 эВ) maksimumlarni vujudga 
keltiradi. Birlamchi dastaning tushish burchagi o‘zgarganda bu maksimumlar 
aralashib yoki silliqlanib ketadilar, sirtda tartibsizlik (amorfizatsiya) paydo 
bo‘lganda esa batamom yo‘qolib ketadilar. 
3. Yakkazarrali (valent zona va yuqori satxlardagi elektronlarning) 
o‘yg‘onishlari va valent elektronlarining kollektiv tebranishlarining (plazmon)
o‘yg‘onishi hisobiga noelastik kanallarning ochilishi ham tor maksimumlarni 
vujudga keltiradi. 
Elektronning energiyasi plazmon energiyasiga teng (yaqin) bo‘lgan holda u 
o‘z energiyasini to‘laligicha plazmonni uyg‘otishga berishi mumkin. Uyg‘ongan 
plazmonning so‘nishi jarayonida elektronlardan biri dastavval uyg‘otish uchun 

---

80 
sarflangan energiyani qaytib olishi va kvazielastik sochilgan kabi vakuumga 
chiqishi mumkin. Shunday qilib, valent elektronlarnig kollektiv tebranishlarining 
o‘yg‘onishi faqat noelastik sochilish kanaligina bo‘lib qolmay, balki elastik 
sochilish kanali ham bo‘lishi mumkin. Bunday kanallar hisobiga R(Yer) egri 
chizig‘ida juda kam intensivlikli notekisliklar vujudga keladi. 
Bu notekisliklar (maksimum va minimumlar) ning energetik vaziyatlari
difraksion maksimumlardan farqli ravishda, birlamchi dastaning tushish 
burchagiga va berilgan material sirtining kristall tuzilishiga deyarli bog‘liq emas. 
Ayni paytda noelastik kanallardagi sochilish sirt qatlamlaridagi begona 
aralashmalarga juda sezgir bo‘ladi. 
Zamonaviy asbob-uskunalarning qo‘llanilishi va elektrik differensiallashdan 
foydalanish deyarli hamma tor va kichik intensivlikka ega bo‘lgan cho‘qqichalarni 
ajratish imkonini beradi. 
Hozirgi vaqtda R, 

koeffitsiyentlarning va ularning