O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

 
 
 
6.14 – rasm. Akslanuvchi mikroskop yordamida olingan tasvir. 
6.5. Rastrli elektron mikroskopi 
«Rastr elektron mikroskopiya» so‘zi turli xil asboblar guruhini o‘z ichiga 
qamrab oladi va ularni ko‘pincha yagona konstruktiv birlikga birlashtirishadi. 
Tasvirni nuqtalar bo‘yicha qurish, tasvir o‘lchamlarini radiotexnik usullar bilan 
o‘zgartirish, elektronlar to‘plamini rastrga yoyish bu asboblarning umumiy 
hosligidir. Asboblar orasidagi farqlar, skanerlovchi to‘plamdagi elektronlarning 
obyekt moddalari bilan ta’sirlashish natijasini qayd qilish bilan aniqlanadi. Qayd 
qilinuvchi ta’sirlashishlarni natijasining tabiati va intensivligi olinayotgan 
tasvirning ko‘rinishini aniqlaydi. 

---

162 
REM – oddiy bo‘lmagan elektron mikroskop bo‘lib, unda tasvir obyekt 
orqali o‘tgan elektronlar yordamida elektronlar linzalar tomonidan hosil qilinadi. 
REM da tasvirni hosil qilish va uning o‘lchamlarini o‘zgartirish uchun elektron-
optik tizimlar ishlatilmaydi.Unda tasvir nuqta bo‘yicha quriladi va u elektron 
to‘plamining namuna sirti bilan ta’sirlashish natijasidir. Kuzatilayotgan soxa 
mikroskop elektron to‘pi bilan siljitib nurlantiriladi, mos keluvchi tasvir sinxron va 
sinfoz quriladi. Elektron linzalar REMning elektron-optik usulda muhim qismini 
tashkil qilib, biroq ular elektron to‘plamni hosil qilish uchun ishlatiladi. 
Rastr elektron mikroskopda ishlatiladigan elektronlar oqimi, nurlarga 
qo‘yilgan barcha talablarni qanoatlantiradi: 
-elektronlar oqimini elektr yoki magnit maydoni yordamida og‘dirish 
mumkin. Biroq bittasini ishlatishni afzal ko‘riladi ham mikroskopni elektron 
zondida, hamda tasvirni kuzatish va sifatga olish uchun mo‘ljallangan elektron-nur 
trubkalarda. Hozirda elektromagnit og‘diruvchi tizimlardan foydalaniladi, chunki 
ularni vakuumdan tashqariga joylashtirish mumkin. Elektr maydon orqali 
elektronlarni og‘dirish uchun plastinkani kalonna ichiga joylashtirish kerak bo‘ladi. 
Ularni ifloslanishi tasvirni buzilishiga olib keladi. 
-to‘plam diametri namuna sirtida ma’lum bir o‘lchamga keltirish mumkin. 
Elektronlar oqimini elektrostatik yoki elektromagnit linzalar yordamida fokuslash 
mumkin.
-nurlanish namuna tizimida ta’sirlashish samaradorligi va kuzatilayotgan 
namuna tarkibi va topografiyasi haqida ma’lumotlarni olib boruvchi sirt 
xususiyatlari orasidagi bog‘liqlikni mavjudligi.