O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

Akslangan elektronlar. Ular birlamchi elektronlarning bir marotaba elastik 
sochilishlari natijasida katta burchakka (90° gacha) yoki ko‘p marotaba 
sochilishlar natijasida kichik burchakka sochilishda hosil bo‘ladi. Yakunda 
birlamchi elektronlar namuna atomlari bilan bir necha ta’sirlashib, energiya 
yo‘qotadi va o‘zining harakat yo‘nalishini o‘zgartiradi, hamda namuna sirtini tark 
etadi. Akslangan elektronlarning hosil bo‘lish sohasining o‘lchami katta va 
namuna materialida elektronlarning yugurish yo‘liga bog‘liq. Soha ko‘lami 
birlamchi elektronlarni tezlashtiruvchi kuchlanish oshishi va namuna tarkibiga 
kiruvchi elementlarning o‘rtacha atom raqamining Z kamayishi bilan o‘sadi. Soha 
ko‘lami 0,1 dan 1 mkm gacha borishi mumkin.

---

165 
Akslanish jarayonida energiyaning bir qismini yo‘qotgan elektronlar 
namunani elektron zond tushgan joyga nisbatan katta masofada tark etadi. Bunga 
mos ravishda signal olinadigan yuza zond yuzasidan katta bo‘ladi. Shuning uchun 
akslangan elektronlarni qayd qilish rejimida REM ning ajrata olishi katta emas va 
katta bo‘lmagan tezlashtiruvchi kuchlanishda va og‘ir material bilan ishlaganda 10 
nm o‘zgarsa, katta tezlashtiruvchi kuchlanishda va yengil material bilan ishlaganda 
100 nm yetadi. Akslangan elektronlar emissiyasining eng asosiy xususiyati 
elementning atom raqamiga bog‘liqligidir. Birlamchi elektronlar to‘plamining 
tushush nuqtasida material atom raqami kichik bo‘lsa, u holda qichik energiya 
zahirasiga ega bo‘lgan kam miqdorda akslangan elektronlar hosil bo‘ladi. Atom 
raqami katta bo‘lgan namuna sohasida, ko‘p miqdorda elektronlar akslanadi va 
namunaning kichik chuqurligida hosil bo‘lganligi uchun ular sirt tomon 
harakatlanishida kam energiya yo‘qotadi. Bu qonuniyat akslangan elektronlarda 
tasvir olishda ishlatiladi. 
 
 
 
 
 
6.16. – rasm. Jism sirtini elektronlar (zond) oqimi bilan nurlantirlganda 
signallarni hosil bo‘lish sohasi. 1 – Oje – elektronlar, 2 – ikkilamchi elektronlar, 3 
– akslangan elektronlar, 4 – xarakterli rentgen nurlanishlari, 5 – sekinlashuvchi 
rentgen nurlanishlari, 6 – fluoressensiya. 
1 
2 
3 
4 
5 
6 
E=0 
1nm 
1
-1
0
n
m
0,
1
-1
n
m
0
,2
-2
n
m
zond 
d 

---

166