O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

 
6.6.Nаnооb’еktlаrni o’rganishning zаmоnаviy zоndli usullаri. 
6.6.1. Skanerlovchi tunnel mikroskop, atom – kuchlanishli mikroskop. 
Ularning qurilmalari, ishlash prinsiplari 
и.э 
а.э 
а.э 
а.э 
а.э 
а.э 
а.э 
to‘plam 
1 
2 
3 
4 
5 
12 kV 
-50 В

+250 В 

---

170 
Skаnlоvchi – tunnеl mikrоskоp (STM). STM ning birinchi nusxаsi 1981-
yildа IBM firmаsining Shvеysаriya bulimi xоdimlаri Binning vа Rоrеrlаr (ulаr 
kеyinchаlik Nоbеl’ mukоfоtigа sаzоvоr bo’lganlаr) tоmоnidаn yarаtilgаn. 
STM ning ishlаsh prinsipi elеktrоnlаrning vаkuum to’siq (bаr’еr) оrqаli 
tunnеl (sizib) o’tishi hоdisаsigа аsоslаngаn. Tunnеl effеktining nаzаriyasi 1928-
yildа G.А.Gаmоv tоmоnidаn yarаtilgаn. Tunnеl effеkti quyidаgichа tushuntirilаdi. 
Zаrrаchа (mаsаlаn, elеktrоn) ning enеrgiyasi mа’lum bir kеngligi chеgаrаlаngаn 
to’siqning bаlаndligidаn kichik bo’lsа, u to’siqdаn sаkrаb o’tmаsdаn uning 
ichkаrisi оrqаli sizib o’tishi mumkin. Zоnd (o’tkir uchli ninа) vа nаmunа (tаglik) 
оrаsidаgi mаsоfа STM dа to’siq vаzifаsini bаjаrаdi (6.19– rаsm).
Mаsоfа kаttаligi elеktrоnning to’lqin uzunligigа yaqin bulishi kеrаk. 
Shuning uchun STM lаrdа bu mаsоfа (to’siq) kаttаligi ko’pinchа L=5 Å gа, ya’ni 
tаxminаn 2 tа аtоm diаmеtrigа tеng qilib оlinаdi. Zоnd vа nаmunа (tаglik) 
оrаsidаgi mаsоfа tunnеl tоki kаttаligigа kеskin tа’sir qilаdi (mаsоfаning 1 Å gа 
o’zgarishi tоk qiymаtini 10 mаrtа o’zgаrtirаdi). Bu hоdisа tunnеl mаsоfаsini, ya’ni 
tunnеl tоkini o’zgаrtirmаy (dоimiy bir xil) ushlаb turishgа аsоslаngаn “kuzаtuvchi 
tizim” ni yarаtishgа imkоn bеrаdi.
Zаmоnаviy p’еzоmаnipulyatоrlаr tеxnik jihаtdаn o’lchаsh аniqligini 0,1 Å 
gаchа kаmаytirishni tа’minlаydi. Bu аniqlik аnаlоgli vа rаqаmli o’zgаrtirgichlаrdа 
20-rаzryadli o’ta kаttа intеgrаl sxеmаlаrni qo’llаsh оrqаli tа’minlаnаdi. O’ta 
mukаmmаl o’zgаrtgichlаrdаn fоydаlаnib аsbоbning аniqligini yanаdа оshirish 
mumkin. Tunnеl tоki dоimiy qiymаtdаn chеtgа chiqsа bu o’zgarish tоki 
kuchаytirgichgа bеrilаdi. Kuchаytirilgаn tunnеl tоkining kаttаligi (xаtоlik signаli) 
zоnd tаgidаgi tеkshirilаyotgаn jism yuzаsining rеl’еfigа (nоtеkisligigа) to’g’ridаn-
to’g’ri bоg’liq bo’ladi. Skаnerlаshning tаnlаb оlingаn mаsshtаbigа bоg’liq rаvishdа 
kоmpyutеr ekrаnidа yuzаning tеkshirilаyotgаn qismining tаsviri (skаni) hоsil 
bo’ladi. Tеkshirilаyotgаn yuzа qismining o’rni tаyanch (rеpеr) nuqtаgа nisbаtаn 
0,1 Å аniqlikdа tоpilаdi. Shuning uchun hаm bu usul nаnо o’lchamli оb’yеktlаrni, 
hаttоki yuzаdаgi аlоhidа-аlоhidа аtоmlаrni vа mоlеkulаlаrni judа kаttа аniqlikdа
ko’ra оlish imkоnini bеrаdi, ya’ni STM “аtоmаr” аjrаtа оlish qоbiliyatigа egа. 

---

171 
Yuqorida ta’kidlanganidek, zondli mikroskoplarning birinchi vakili STMdir.
Bizga ma’lumki, zarraning umumiy energiyasi E, potensial va kinetik energiya 
yig’indisiga teng. 
 
6.19 – rаsm: STM dаgi “ninа-tаglik-tоkni bоshqаrish tizimi” ning 
ko’rinishi. 
Agar hududning bir oz qismidagi potensial energiyani ko’rinishi 
quyidagicha bo’lsa,
(6.8) 
umumiy energiya esa Е0 
bo’lsa, unda aytish mumkinki, zarra potensial chuqur 
hududida bo’ladi. Klassik mexanikada zarra bu energiya bilan baryerdan o’ta 
olmaydi va unga urilib orqaga qaytadi. Kvant mexanika nuqtai nazaridan 
qaralganda, u baryerdan o’tishi mumkin, ya’ni zarra « tunnellanishi » mumkin.
Agar bu ehtimollik yetarli katta bo’lsa, unda aytish mumkinki, baryer shaffof-
tunellanuvchandir.
STMning ishlash prinsipi asosida , tashqi elektr maydon ta’sirida metall
zond va namuna o’tkazgich orasida, ingichka tirqish orqali elektronlarnini 
tunellanish hodisasi yotadi (6.20-rasm).

---

172 
STMda zond namuna yuzasiga bir necha angstrem (Å) masofagacha 
yaqinlashtiriladi. Bunda shaffof-tunnellanuvchan potensial baryer kengligi ΔZ 
bo'lib, uning balandligi zond materialidan elektronlarni chiqish ishi φ
P
va 
namunadan elektronlarni chiqish ishi φ
S
bilan aniqlanadi. 
6.20-rasm: Tunnel mikroskopda potensial bar’er orqali elektronlarni 
tunellanish sxemasi. 
Materialning o’rtacha chiqish ishi quyidagiga teng:  
(6.9) 
Ikkita metall kontaktda hosil bo’lgan tunnel toki zichligi quyidagicha 
ifodalanadi: 
(6.10)
Bu yerda j
0
(V) – zond – namuna masofasini o’zgarishiga bog’liq bo’lmagan 
kattalik bo’lib hisoblanadi. 
Tunnel tokining masofaga eksponensial bog’liqligi, tunnel mikroskoplarda, 
zond namuna orasidagi masofani yuqori aniqlikda boshqarish imkonini beradi. 
STM o’zida manfiy teskari bog’lanishli elektromexanik tizimni namoyish etadi. 
Teskari bog’lanish tizimi (6.21-rasm) zond va namuna orasidagi tunnel tokini 
berilgan qiymatda saqlaydi (I
0
). Tunnel toki kattaligining nazorati, binobarin, 
 

---

173 
zond-namuna masofasi, pezoelektrik element yordamida zondning Z o’qi bo’ylab 
siljishi natijasida amalga oshiriladi. 
6.21-rasm: Tunnel toki bo’yicha teskari bog’lanish tashkiliy sxemasi. 
STMda yuza relyefi tasviri ikkita usulda vujudga keltiriladi. Doimiy tunnel 
toki usulida (6.22-a,rasm), zond yuza bo’ylab siljiydi va rastrli skanerlashni amalga 
oshiradi: bunda, teskari bog’lanish zanjirida pezoelement Z-elektrodidagi
kuchlanishning o’zgarishi,(namunaning takrorlanuvchi yuza relyefini, katta aniqlik 
bilan),Z = f(x,y), funksiya ko’rinishida kompyuter xotirasiga yozadi, keyin esa 
kopyuter grafikasi vositasida o’qiydi.
6.22-rasm: Yuzaning STM tasvirini olish: a) tunnel toki doimiy usuli, 
b)oraliq masofa doimiy usuli. 

---

174 
Atomar silliq yuzalarni tekshirishda, balandlik doimiy Z = const usulida 
STM tasvirni olish effektivligi katta hisoblanadi. Bu holda, zond namunadan bir 
necha angstrem (Å) masofada siljiydi va tunnel tokining o’zgarishi, yuzaning 
STM tasviri sifatida qayd qilinadi (6.22-b, rasm). Skanerlash TB uzilgan holda 
ham ishlaydi, tezlik bilan yoki , TB reaksiya tezligidan katta tezlik bilan, shunday 
ekan, TB faqat yuza relyefining ravon o’zgarishini qayta ishlaydi. Bu usulda 
skanerlash yuqori tezlikda va STM tasvirni olish katta chastotada amalga 
oshiriladi. Shu bilan birga yuzada bo’layotgan o’zgarishlarni kuzatish imkoniyati 
paydo bo’ladi.
STMning yuqori fazoviy ruxsat etilganligi tunnel tokining masofadan 
yuzagacha bo’lgan eksponensial bog’liqligidan aniqlanadi (6.23-rasm). Yuzada 
normal yo’nalishda ruxsat etilganlik nanometr ulushlariga yetadi. Yon yo’nalishda 
ruxsat etilganlik zond sifatiga bog’liq bo’ladi va asosan, o’tkir uchli zondning 
makroskopik egrilik radiusi bilan emas, uning atom strukturasi bilan aniqlanadi. 
Zondni to’g’ri tayyorlashda uning uchlari bitta atom yoki atomlar to’plami 
o’lchami ehtimolligida topilishi kerak va u zondning o’tkir egrilik radiusidan juda 
kichik bo’lishi kerak. Haqiqatan, tunnel toki namuna yuzasidagi atom va zond 
atomlari orasidan oqadi. Zond yuzasining tepasida turgan atom, yuzadan kristall 
panjara doimiysiga teng masofagacha yaqin joylashadi. Tunnel tokining masofaga 
eksponensial bog’liqligidan, tok asosan, namuna yuzasi va zond uchining do’nglik 
atomi orasidan oqadi. 
6.23-rasm: Skanerlovchi tunnel mikroskopda atomar darajada amalga oshirish. 

---

175 
Bu zondlar yordamida atom o’lchamigacha fazoviy ruxsat etilganlik bilan 
natija olish mumkin (6.24-rasm).