O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

Kontaktli atom-kuchlanishli mikroskopiya. AKM yordamida yuza xossalari 
va relyefi haqida axborot olishni, shartli ravishda ikkita katta guruhga bo’lish 
mumkin—kontaktli kvazistatik va kontaktsiz tebranish. Kontaktli kvazistatik 
usulda o’tkir zond bevosita yuzada harakatlanadi, shu sababli namuna tarafdagi 
amaldagi itarishish va tortishish kuchlari, konsolning egiluvchanlik kuchi bilan 
muvozanatlashadi. AKMning bunday rejimda ishlashida bikrlik koeffitsiyenti 
nisbiy kichik bo’lgan kantileverdan foydalaniladi, u zondning namunada turli ta’sir 

---

179 
etishdan o’z xohishisiz o’zini olib qochmasligini va yuqori sezgirlikni ta’minlash
imkonini berishi kerak.  
AKMning kvazistatik rejimida o’rganilayotgan yuza relyefining tasviri, 
yoki yuzadagi o’zaro ta’sir kuchlari (itarishish va tortishish kuchlari) doimiy 
bo’lganda, yoki namuna yuzasi va zondli datchik asosi orasidagi o’rtacha masofa 
doimiy bo’lganda vujudga keltiriladi. F
Z
= const rejimida namunani skanerlashda, 
teskari bog’lanish tizimi katilever egilish kattaligini doimiy ushlab turadi, 
binobarin, zondning namuna bilan o’zaro ta’sir kuchini ham (6.30-rasm). Bunda 
boshqaruvchi kuchlanish teskari bog’lanish halqasiga, skanerning Z-elektrodidan 
uzatiladi va u namuna yuzasining relyefiga proporsional bo’ladi.
6.30-rasm: Namuna va zond o’zaro ta’sir kuchlari doimiy bo’lganda AKM tasvirni 
hosil qilish 
6.31-rasm: Zondli datchik va namuna orasidagi masofa doimiy bo’lganda AKM 
tasvir hosil qilish. 
Balandlik tafovuti kichik bo’lgan (angstrem birligi tartibida) namunalar 
relyefini tekshirishda, zondli datchik asosi va namuna o’rtasidagi masofa doimiy 

---

180 
bo’lgan (Z = const) skanerlash rejimi qo’llaniladi. Bunday holda, zondli datchik 
namunadan bir oz o’rtacha balandlikda (Z
o’r
) harakatlanadi (6.31-rasm), bunda 
yuza tomonidagi amaldagi kuchlarga proporsional ravishda, har bir nuqtadagi
konsolning egilishi ΔZ qayd qilib boriladi. Bu holatda AKM tasvir yuza va zond 
o’zaro ta’sir kuchlarining fazoviy taqsimlanishi bilan xarakterlanadi. AKM 
usulning kamchiligi – zondning namuna bilan mexanik o’zaro ta’siridir. Bu tez-tez 
skanerlash jarayonida zondning ishlamasligi va namuna yuzasining buzilishiga olib 
keladi. Shunday ekan, kontaktli usul kichik mexanik bikrlikli namunalarni 
o’rganishga yaroqli emas, jumladan organik materiallar asosidagi strukturalar va 
biologik obyektlarni o’rganish mumkin.