O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov
Download 4.16 Mb. Pdf ko'rish
|
NANOTEXNOLOGIYA ASOSLARI (UMUMIY) 22.06.2020
|
6.5– rasm. Mikroskoplarning magnit linzalari sxemasi: a – proyeksion, b – obyektiv, 1 – g‘altak, 2 – pansir, 3 – yuqorigi qutbli nakonechniklar, 4 – pastki qutbli nakonechniklar. Shuning uchun, mikroskopni sozlaganda linza maydonlarining assimimetriyasini kompensatsiyalash lozim. Buni amalga oshirish uchun stigmatorlardan foydalaniladi (6.6–rasm). 1 va 2 qutbli nakonechniklarning bashmaklari orasiga magnit xususiyatlarini namoyon qilmaydigan, masalan, latun materialidan yasalgan belbog‘ shaklidagi element joylashtirilgan bo‘lib, uning perimetri bo‘ylab teng masofalarda magnit materialdan (temir) yasalgan sakkizta vint (4) o‘rnatilgan. Ularning belbog‘ga kirish chuqurligiga bog‘liq ravishda linza maydoninig u yoki bu buzulishini vujudga keltirish mumkin. Stigmatorning vintlari chuqurligini o‘zgartirish orqali, ular vujudga keltirayotgan buzilishlar bilan maydonning tabiiy assimetriyasini kompensatsiyalashga erishish mumkin. Lekin, bunday turdagi stigmatorlar bilan ishlash ancha mushkul, shuning uchun bugungi kunda ulardan ko‘ra mukammalroq elektromagnit stigmatorlardan foydalanilmoqda. Bu stigmatorlar tok oqib o‘tuvchi g‘altaklar ko‘rinishida bo‘ladi va ularni sozlash ancha osondir. 150 6.6 – rasm. Elektron mikroskop linzasining stigmatori. Uzoq vaqt davomida magnit elektron mikroskoplar ustida elektrostatik mikroskoplarga qaraganda ko‘proq izlanishlar olib borilganligi uchun, birinchi navbatda ularda maksimal ajrata olishga erishildi. Lekin elektrostatik mikroskoplar magnit mikroskoplarga qaraganda kamchiliklardan (magnit mikroskoplarga qaraganda past ajrata olish qobiliyati va past ishchi kuchlanishlari) tashqari bir qancha afzalliklarga ham ega: yoritish qurilmasi uchun ham mikroskopning elektrostatik linzalari uchun ham manba sifatida ishlatilishi mumkin bo‘lgan soddalashgan manba sxemasi, linzalarning sodda konstruksiyalari, hamda kuchlanishlarning stabilizatsiya qilinishiga qo‘yiladigan talablarning pastligi. Elektrostatik elektron mikroskopning optik sxemasi magnit mikroskopning sxemasi bilan bir xildir. Faqatgina u ba’zi bir hollarda unda kondensor linzaning bo‘lmasligi va yoritish tizimi uzun fokusli to‘p shaklida bo‘lishi bilan farqlanadi (6.4 b – rasm). Elektron linzalar sifatida yakkalangan elektrostatik linzalar ishlatiladi. Ularning optik kuchi elektrodlar orasidagi masofaning qisqarishi va ularga berilgan kuchlanishning oshirilishi bilan oshadi. Lekin bu ikki yo‘l ham elektr mustaxkamlik buzilishi mumkinligi sababli chegaralanadi va shuning uchun elektrostatik mikroskoplarning ishchi kuchlanishi, odatda, 50 – 60 kV dan oshmaydi. Elektrodlar orasidagi teshilish asosan ularning yuzalarida vujudga keladigan avtoelektron emissiya sababli sodir bo‘ladi. Shuning uchun ularga ishlov berishga katta e’tibor qaratiladi. Undan tashqari, linzani tashkil etuvchilarning 151 sifatli tayyorlanishi, ishlov berilishi va montaj qilinishi maydonning aksial simmetriyasiga ta’sir qiladi. Yakkalangan linzalarning asosiy yutug‘i sifatida, ularning optik kuchini o‘rta elektrod elektronlar manbai bilan ulangan holda stabillashtirish imkoniyati mavjudligida deb aytish mumkin. Elektrostatik elektron mikroskoplarda yakkalangan linzalarning o‘rta elektrodlarini pushkaning katodi va chetdagilarni yerga ulangan anod bilan ulagan holda manbaning stabilligiga bo‘lgan talablarni magnit mikroskoplardagiga qaraganda kamaytirish mumkin. Magnitli mikroskopda ham elektrostatik elektron mikroskopda ham yoritish tizimi, elektron linzalar, stigmatorlar, diafragmalar, obyekt qotiriladigan stol va lyuminessentli ekran fotoplastinkalari bilan birga mikroskop kolonnasi deb nomlanadigan vertikal kameraga joylashtiriladi. Undan tashqari mikroskop manba va kolonna ishchi hajmida 10 -5 mm. sim. ust. ga teng bo‘lgan vakuumni ta’minlaydigan vakuum qurilma bilan jihozlangan. O‘ta yuqori ajrata olish qobiliyati va kompleks tadqiqotlar olib borish imkoniyatini beruvchi universal mikroskoplar bilan bir qatorida soddaroq tuzilishga, kichik o‘lchamlarga, ishlash kuchlanishi 30 – 50 kV va ajrata olish qobiliyati 30 – 60 Å bo‘lgan sodda mikroskoplar ham mavjud. Bu turdagi kichik o‘lchamga ega bo‘lgan mikroskoplar yuqori ajrata olish qobiliyatini talab qilinmaydigan tadqiqotlarda keng ishlatilishi mumkin. Shuni ta’kidlab o‘tish kerakki bugungi kunda 150 kV dan million kV gacha va undan yuqori kuchlanishda ishlaydigan o‘ta yuqori vol’tli mikroskoplar katta qiziqish uyg‘otmoqda. Bunday energiyali elektronlarning yuqori kirish qobiliyati sababli qalinligi bir necha mikron bo‘lgan obyektlarni o‘rganish imkoniyati vujudga keldi. Download 4.16 Mb. Do'stlaringiz bilan baham: 
|