O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov
Yorituvchi elektron mikroskoplarning magnitli va elektrostatik turlari
Download 4.16 Mb. Pdf ko'rish
|
NANOTEXNOLOGIYA ASOSLARI (UMUMIY) 22.06.2020
|
6.2. Yorituvchi elektron mikroskoplarning magnitli va elektrostatik turlari
Magnit mikroskoplarda magnit elektron linzalardan foydalaniladi (Linza sifatida tok oqib o‘tuvchi g‘altaklar yoki o‘zgarmas magnitlardan foydalanish mumkin). Bu linzalarni ko‘rib chiqishdan oldin elektron dastani hosil qiluvchi qurilmani, ya’ni yorituvchi qurilmani ko‘rib chiqaylik. Bu qurilma odatda uch 147 elektrodli elektron to‘p ko‘rinishda bo‘lib, katod, hosil qiluvchi elektrod va anoddan iborat bo‘ladi. Bunday to‘p ikki turining sxematik konstruksiyasi 6.4 – rasmda keltirilgan. Mikroskopning yuqori kattalashtirishini hisobga olgan holda yoritish tizimi obyektning juda kichik (bir necha o‘n mikron) qismini yoritishi lozim. Boshqa qismlarning yoritilishi ularning qizishi va obyektning buzilishiga olib kelishi mumkin. Bundan tashqari keyinchalik kattalashtirish paytida lyuminitsent ekranda kerakli yoritilganlikni olish uchun yoritilayotgan qismda yetarlicha yuqori bo‘lgan tok zichligini hosil qilish kerak. 6.4 a – rasmda keltirilgan elektrod va anod orasida eng kichik kesimli dastani, chiqishda esa sochiluvchi dastani hosil qiluvchi to‘pning konstruksiyasi optimal hisoblanmaydi. Shuning uchun yoritish tizimi obyekt va to‘p orasiga joylashtirilgan va dastani obyektda to‘plovchi magnit linza – kondensor (6.4 b – rasm.) bilan to‘ldiriladi. Uning optik kuchini o‘zgartirish orqali dasta bilan yoritilayotgan yuzani va obyektdagi tok zichligini o‘zgartirish mumkin. 6.4 – rasm. Elektron mikroskop yoritish sistemasining sxemasi. Obyektdagi dastaning fokuslanishini yaxshilash uchun bugungi kunda ikkita linzali kondensorlardan foydalanilmoqda. Bunday turdagi yoritish tizimlari magnitli elektron mikroskoplar uchun harakterlidir. Ayrim hollarda elektrostatik mikroskoplarda kondensor linza bo‘lmaydi, ammo tezlashtiruvchi elektrodning shakli murakkablashtiradi, hamda anod teshigining diametri kattalashtiriladi, natijada dastaning torayishi anoddan ancha uzoq masofada sodir bo‘ladi va uni 148 obyektda jamlash imkoni vujudga keladi. Bunday turdagi uzun fokusli to‘pning konstruksiyasi 6.4 b – rasmda keltirilgan. Ko‘rib turganimizdek, mikroskopning elektron-optik tizimi oraliq kattalashtirish tizimlari bo‘lmasa, kamiga 2 ta, obyektiv va proyeksion linzalarni o‘z ichiga olishi zarur. Asbobning to‘liq kattalashtirishi 200000 ga yaqin bo‘lganida bu linzalar juda kuchli bo‘lishlari va 1 – 2 mm ga teng bo‘lgan fokus masofasiga ega bo‘lishlari kerak. Magnit linzalarni ishlatishda bunday parametrlarni olish uchun, ularni faqatgina panser bilan emas, balki asbobning ishchi hajmida joylashtirilgan qutbli nakonechniklar bilan ham ta’minlash lozim. Bunda hosil bo‘lgan tasvirning sifati va birinchi navbatda mikroskopning ajrata olish qobiliyati qutbli nakonechniklar tomonidan belgilanadi: Birinchidan, ular magnit maydonni optik o‘q bo‘ylab iloji boricha qisqa sohaga jamlashi va bu maydonning amplituda bo‘yicha kattaligi 20000 atrofida bo‘lishini ta’minlashi kerak. Demak, qutbli nakonechniklarning materiali iloji boricha yuqori magnit o‘tkazuvchanlikka va to’yinish induksiyasiga ega bo‘lishi kerak. Ikkinchidan, qutbli nakonechniklarning shakli linzaning magnit maydoni aksial simmetriyasini ta’minlashi lozim. Buning uchun materialning butun hajmi bo‘yicha xususiyatlari bir jinsli bo‘lishi va material yaxshi qayta ishlanishi kerak. Uzoq vaqt davomida linzalarning magnit simlarini tayyorlash uchun eng yaxshi materiallar sifatida o‘ta yuqori tozalangan armko temir va 40 % li temir va 60 % li kobalt qotishmasi hisoblangan. Undan ham yuqori natijalarni temir – nikel qotishmalarini ishlatish orqali olish mumkin. Proyeksion linzaning qutbli nakonechniklarining sxematik ko‘rinishi 6.5 a – rasmda keltirilgan. Odatda, ular simmetrik tarzda joylashgan bo‘ladi, chunki bunda linza maydonining kerakli shaklini olish imkoniyati bo‘ladi. Obyektiv linzada esa sezilarli darajadagi kattalashtirishni hosil qilish uchun obyektni linzaning maydoniga iloji boricha yaqin joylashtirish zarur, ya’ni obyektni yuqoridagi qutbli nakonechniklar orasidagi tirqishga joylashtirish kerak. 149 Shuning uchun obyektiv linzadagi qutbli nakonechniklarning shakli simmetrik emas (6.5 b – rasm). Shuni aytib o‘tish lozimki qutbli nakonechniklarni qanchalik katta aniqlikda yasalsa ham, ular orasidagi tirqishda hosil bo‘ladigan maydon to‘liq aksial-simmetrik bo‘lmaydi. Shuning uchun maksimal ajrata olishga erishish qiyinlashadi. Maydonning bunday buzilishlariga materialning bir jinsli emasligi, mikroyoriqlar va boshqa defektlar sabab bo‘lishi mumkin. Download 4.16 Mb. Do'stlaringiz bilan baham: 
|