O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

VI BOB. ELEKTRON OPTIK VA ZAMONAVIY MIKRASKOPLAR 
YORDAMIDA NANOPLYONKALARNI O’RGANISH USULLARI 
Hozirgi kunda qattiq jism yuzalarini, nanomateriallar tuzilishini o‘rganish 
uchun elektron mikroskoplar keng qo‘llanilmoqda. Jismni elektronlar dastasi bilan
yoritish usuli yorug‘lik dastasi jism orqali o‘tuvchi va shundan so‘ng optik tizimga 
tushuvchi oddiy yorug‘lik mikroskopni eslatadi. Amalda esa elektronoptik tasvirni 
hosil bo‘lishiga olib keluvchi jismning elektronlar to‘plam bilan ta’sirlashish 
harakteri, yorug‘lik mikroskopda jismning yorug‘lik to‘plami bilan ta’sirlashish 
mexanizimidan mutloq farq qiladi. Mikroskoplarning turlari juda ko‘p bo‘lishiga 
qaramasdan ularni shartli ravishda ikki turga ajratish mumkin: yorug‘lik (optik) 
mikroskoplari va elektron mikroskoplardir. Mikroskoplar asosan uchta tizimdan 
iborat bo‘ladi: elektronlar (yorug‘lik) manbai, nurlarni boshqarish tizimi va 
tekshirilayotgan jism. Jismning o‘lchami va qo‘yilgan vazifaga qarab mikroskoplar 
ikki xil rejimda ishlashi mumkin: o‘tuvchi nurlar va qaytgan nurlar 
mikroskopiyasi. Nurlarning o‘lchami 5 – 10 mkm dan 100 mkm gacha bo‘lishi 
mumkin. Yuzani to‘liq tekshirish uchun rastrli mikroskoplar ishlatiladi. Elektron 
to‘p qabul qilgichda iloji boricha kichik o‘lchamga ega bo‘lgan fokuslangan 
elektron dastani hosil qilish uchun xizmat qiladi. Bunday to‘plar quyidagi 
shartlarni qanoatlantirishi lozim: 
-qabul qilgichda ko‘ndalang kesimi eng kichik qiymatga ega bo‘lgan 
elektron dastani hosil qilish; 
-ekran tekisligida dastadagi tok zichligining kerakli qiymatlarini ta’minlashi; 
-dastadagi tok kattaligi kerakli oraliqda oson o‘zgartirilishi lozim. 
Hozirgi kunda kattalashtirish koeffitsiyenti 10
6
ga teng bo‘lgan mikroskoplar 
mavjud. 
6.1. Elektron mikroskopda tasvirlar hosil qilish 
Yorug‘lik mikroskopida jism orqali o‘tuvchi yorug‘lik to‘plami jismdagi 
yorug‘likni turlicha yutuvchi, qaytaruvchi, sindiruvchi va sochuvchi qismlarda 

---

142 
turlicha susayadi. Bu esa jismning tasvirini ko‘rish imkonini beradi. Misol uchun 
turlicha yutuvchi soha holatida jism bo‘laklari tomonidan yorug‘likni kuchliroq 
to‘xtatuvchi soha, tasvirda jismning shaffof sohasiga nisbatan qoraroq bo‘ladi. 
Elektron to‘plami bilan ishlaganda elektronlarning shunday tezligini tanlash 
mumkin bo‘ladiki, unda elektron jism orqali o‘tayotganda undagi zich va qalin 
bo‘laklar tomonidan qisman ushlanardi. Biroq ishlashning bu turi yorituvchi 
turdagi elektron mikroskop uchun yaroqsizdir. Elektronlar jism tomonidan 
ushlanishi uchun u o‘zining energiyasini yo‘qotishi kerak. Biroq elektronlar jism 
atomlari bilan to‘qnashib, o‘zining energiyasini asosan katta bo‘lmagan 
bo‘laklarda beradi. Berilgan energiya kattaligi boshlang‘ich energiyaning katta 
bo‘lmagan qismini tashkil qiladi. Shuning uchun elektron jism orqali o‘tayotganda, 
uning tezligi sekin asta kamayadi. Demak, elektronlarning boshlang‘ich tezligini 
jismning ma’lum bir bo‘laklarida ushlanishi uchun tanlansa, u holda boshqa 
bo‘laklar orqali o‘tgan elektronlar o‘z energiyasining sezilarli qismini yo‘qotadi va 
tezliklari keskin farqlanishi vujudga keladi. Bu esa katta xromatik aberratsiyani 
yuzaga keltiradi. Shuning uchun ular tasvirni hosil qilish uchun yaroqsizdir.