O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. M. Nishonova elektronikaning fizik asoslari o‘quv qo

41-rasm. Oje-jarayonda elektronlarning chiqishi va atomlarning energetik satxlari.
Oje-piklarni aniqroq kuzatish maqsadlarida Oje-piklarni kuzatish metodlarini takomillashtirish maqsadida- f(E) egri chiziqlardan yana bir bor differensiallash amalini qo‘llash keng tarqaldi, bu differensiallashning analogli usulida avtomatik ravishda amalga oshiriladi. 43-rasmda bunday operatsiyalardan so‘ng Oje-piklar qanday paydo bo‘lishi ko‘rsatilgan. f(E)= Pastki egri chiziq ikkilamchi elektronlarni energiyalar bo‘yicha taqsimotini beradi, sababi u tajribada aniqlangan “krivoy zaderjka” ning birinchi differensiali hisoblanadi. Sal yuqoriroqda f(E) egri chiziq fragmentining 10 marta kattalashtirilgan holati tasvirlangan, unda E energiyalar sohasi uchun “cho‘qqi” ko‘rinib turibdi.



2.XEYS piklari

1.OE piklari

42-rasm. Oje-piklari (OE) va xarakteristik energiya yo‘qotish spektroskopiyasi (XEYS)piklari ikkilamchi elektronlar energetik taqsimoti egri chiziqlari nozik strukturalari.

43-rasm. E₀ 1000 eV, mishen –Ag materiali ikkilamchi elektronlari Oje-piklari spektrlarini ikkinchi differensiali.
Ikkinchi differensiallash (yuqori egri chiziq ) E 500 eV sohasida qo‘shimcha bitta o‘ngdan va ikkita chapdan piklarni ko‘rishga imkon beradi. (bu egri chiziqda cho‘qqilar (piklar) pastga burilgan ).
Elektronli Oje-spektroskopiya elektronikada (sirt usti qatlamlari fizikasi va yupqa plyonkalar), kimyo, metallurgiya, elektrovakuum texnologiyasi. Uni metallar, yarim o‘tkazgichlar va hatto dielektriklar (izolyatorlar) ularning sirti zaryadlanishiga qaramasdan sirtlarini o‘rganishga qo‘llashadi. Birlamchi elektronlar energiyasi 1-3 keV atrofida, nur dastasining diametri esa 1-2 mkm qilib tanlanadi. Nurning dastasini skanirlash yo‘li bilan 0,5-1 sm² yuzali namunalarni tadqiq qilish mumkin. Usulning sezgirligi 0,01 % atom konsentratsiyasini , adsorbsiyalangan atomlar plenkasi uchun 10¹⁰ atom/sm² gacha etkazilgan.