Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi

ADABIYOTLAR 
 
1. 
Teshaboyev 
A., 
Zaynobiddinov 
S., 
Musayev 
E.A. 
Yarimo’tkazgichlar va yarimo’tkazgichli asboblar texnologiyasi. O’quv 
qo’llanma. T: Talqin, 2006. 
2. 
С.Зайнобидинов, А.Тешабоев. Яримутказгичлар физикаси. 
Тошкент, «Укитувчи»,1999. 
3. 
А.Тешабоев, С. Зайнобидинов, Ш. Эрматов. Кaттик, жисм 
физикаси. Тошкент, «Молия», 2001. 
4. 
А.Тешабоев ва бошкaлар. Яримутказгичли асбоблар физикаси.
Андижон, «Хаёт», 2002. 
5. 
И.Г.Пичугин, Ю.М.Таиров Технология полупроводниковых 
приборов. М., «Высшая школа», 1984. 
6. 
Ю.М.Таиров, В.Ф.Цветков Технология полупроводниковых и 
диэлектрических материалов. Москва, « Высшая школа», 1990. 
7. 
И.Я.Герловин, 
И.В.Игнатьев, 
«Физика 
и 
технология 
эпитаксиальных систем». 
8. 
Готра З.Ю. «Технология микроэлектронных
устройств” Справочник. -М.: Радио и связь, 1991. 
9. 
Валиев К.А. Физика субмикронной литографии. - М.: Наука, 
1990. 
10. 
Королев М.А. Технология, конструкции и методы 
моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. / 
М.А.Королев, 
Т.Ю.Крупкина, 
М.А.Ревелева; 
под 
общей 
ред. 
Ю.А.Чаплыгина. - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007. 
11. 
Попов В.К., Ячменев С.Н. Расчет и проектирование 
устройств электронной и ионной литографии. - М.: Радио и связь, 1985. 
12. 
Сивухин Д. В. Общий курс физики. — М.. — Т. IV. Оптика. 
13. 
Процессы 
и 
модели 
нано/микро 
структурирования: 
«Микролитография. Принципы, методы, материалы». У.Моро // "Мир". 

---

65 
14. 
Зеленцов С.В., Зеленцова Н.В. Современная фотолитография. 
Новые материалы электроники и оптоэлектроники для информационно-
телекоммуникационных систем. Нижний Новгород, 2006.