Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi

3.4. Molekulyar dastali epitaksiya texnologiyasi 
Molekulyar (MDE) kompleksining asosiy strukturaviy elementlari: 
1. 
O’suvchi modul; 
2. 
Yordamchi vakuumli modul; 
3. 
So’rish tizimi; 
4. 
Kriotizim; 

---

43 
5. 
Nazorat – analitik asboblar; 
6. 
Texnologik jarayonni boshqarish sistemasi. 
Quyida har bir element qurilmasi va vazifasi to’liq ko’rib chiqiladi: 
A. Texnologik o’stiruvchi modul: 
O’stiruvchi modul texnologik kompleksning asosiy elementidir. Unda 
to’liq tarzda epitaksial strukturalar o’stirish jarayoni amalga oshiriladi. 
O’stiruvchi modulning asosiy tugunlari: 
- Vakuum kamerasi; 
- Taglikni mustahkamlash tuguni; 
- Molekulyar manbalar tuguni; 
- So’rish sistemasi; 
- Kriopanellar; 
- Transport sistemasi; 

---

44 
- Nazorat – analitik aparatura. 
Vakuum kamera – ikkita asosiy vazifani bajaradi: u o’suvchi bo’shliqni 
atmosfera havosidan germetik izolyatsiyalaydi va shu bilan bir vaqtda o’suvchi 
modulning barcha qolgan elementlarini mahkamlash uchun olib yuruvchi 
kamera hisoblanadi. Vakuum kamera zanglamaydigan po’latdan tayyorlanadi va 
silindrik yoki sharsimon shaklga ega. Zamonaviy texnologik komplekslarda 
vakuum kamera yetarlicha katta o’lchamga ega: uning hajmi 0.5 m
3
gacha 
yetishi mumkin. 
Taglikni mahkamlash tuguni (manipulyator) – o’suvchi modulning 
murakkab tugunlaridan iboratdir. Taglikni mahkamlash va pretszion siljitishdan 
tashqari bu tugun taglikni ishchi temperaturagacha qizdirish ishini amalga 
oshiradi. Taglik juda nozik kristallar plastinkasidan iboratligidan u molibdendan 
yasalgan metal disk tashuvchiga oldindan mahkamlab qo’yiladi, u bilan birga 
ko’chiriladi 
va 
manipulyatorga 
mahkamlanadi. 
Taglikni 
tashuvchiga 
mahkamlash yoki indiy bilan kavsharlash yo’li bilan yoki maxsus simli tutish 
bilan amalga oshiriladi. Taglikni qizdirish uchun manipulyatorga elektr pech 
ulangan b`lib, u yupqa metal spiraldan iborat (meandr) bo’lib, bor nitrididdan 
yasalgan keramik plastinkaga mahkamlangan. Bu material yuqori issiqlikka 
chidamliligi va yaxshi vakuum xususiyati bilan farq qilib, kuchli qizdirishda 
ham bu xususiyatlarni saqlaydi. Qizdirish temperaturasi termojuftlik bilan 
nazorat qilinadi.