Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi

B. Yordamchi vakuumli modullar: 
Yordamchi 
modul 
sifatida 
avvalombor 
labaratoriya 
binosidagi 
tashuvchisida mahkamlangan taglikni surish uchun mo’ljallangan shlyuz 
kamerani (yuklanish kamerasi) olish mumkin. Yuklanish kamerasi o’stiruvchi 
moduldan vakuum to’siq bilan ajratilgan. Yuklanish kamerasi hajmining 
kichikligidan bu juda tez boradi. Shundan keyin to’siq ochib yuboriladi, taglik 
o’suvchi modul tomonga siljilatiladi va manipulyatorda mahkamlanadi. 
O’stirilgan strukturalarni yo’qotish teskari tartibda amalga oshiriladi. 
Texnologik komplekslarning ayrim modellarida o’stirilgan strukturalarni 
ularni kompleksdan yo’qotgunga qadar analiz qilish uchun mo’ljallangan 

---

46 
qo’shimcha vakuum modellar ham ko’rib chiqiladi. Bunday modellar Oje-
spektroskopiya usullari bilan o’stirilgan strukturalar tarkibini analiz qilish 
imkonini beradi. 
C. Texnologik kompleksni haydash sistemasi: 
O’stiruvchi modul haydash sistemasi bilan bir qatorda texnologik 
kompleksning qolgan vakuum qismlarining rivojlangan haydash sistemasi (ko’p 
komponentali) mavjuddir. Unga forvakuumli va adsorbsion nasoslar, ular 
boshqa barcha vakuumli modellar bilan truba orqali bog`langan, 
magnitorazryad nasoslar, ular har qaysi vakuumli modelda bo’ladi va 
magnitorazryad nasoslarning elektr ta`minoti bloklari kiradi. Haydash sistemasi 
izolyatsiya qilish imkonini beruvchi vakuumli ventillarning katta miqdori bilan 
ta`minlangan, kerak bo’lganida sistema elementining ixtiyoriysini ishlatish 
mumkin. 
D. Kriosistema: 
Kriosistema o’suvchi modullar ishi jarayonida ajrab chiquvchi ortiqcha 
bosimni epitaksial komplekslarning ayrim variantlarida sovutish uchun 
qo’shimcha tarzda suvli sovutishdan foydalaniladi. Kriosistema elementlari – 
o’suvchi moduldagi kriopanellarga uzluksiz uzatishni amalga oshiruvchi tashqi 
qurilmalardir. Bunday qurilmalar konstruksiyasi turli texnologik komplekslarda 
ancha farq qiladilar.