Ўзбекистон миллий университети қошидаги яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқИҚот институти ҳузуридаги илмий

Approbation of the results of the study. The main scientific results of the 
dissertation work were reported and discussed at 4 international and 9 Republican 
scientific and practical conferences, as well as at a special scientific seminar at 
Tashkent State Technical University. 
Publication of the research results. On the topic of the dissertation a total of 
21 scientific papers, 8 articles in scientific publications recommended for 
publication of scientific results of doctoral dissertations at the Supreme Attestation 
Commission of the Republic of Uzbekistan, including 3 of them in national and
5-in foreign journals. 
Structure and scope of the thesis. The dissertation consists of an 
introduction, 4 chapters, an appendix, a conclusion and a list of references. The 
text of the thesis is presented on 120 pages. 

---

ЭЛОН ҚИЛИНГАН ИШЛАР РЎЙХАТИ 
СПИСОК ОПУБЛИКОВАННЫХ РАБОТ 
LIST OF PUBLISHED WORKS 
 
I бўлим (I часть, part I) 
 
1А. Бахадирханов М.К., Исмайлов Б.К. Геттерирующие свойства 
кластеров атомов никеля в решетке кремния // Приборы. 2020. № 6 (240) с. 
44-48 [05.00.00; № 63]. 
2А. Bahadirkhanov M.K., Ismaylov B.K., Ismailov K.A., Zikrillaev N.F., 
Isamov S.B. On how thermal annealing affects the state of clusters of nickel atoms 
in crystal lattice of silicon // International Journal of Advanced Science and 
Technology. 2020, Scopus Q3, Vol. 29, No. 9s, pp. 6308-6312 [International 
scientific indexing IF=0,42.] 
3А. Бахадирханов М.К., Тачилин Т.А., Исмайлов Б.К. Диффузия 
кластеров примесных атомов никеля в кристаллической решетке кремния // 
Тенденции развития современной физики полупроводников: проблемы, 
достижения и перспективы. 2020. С. 13-18 [Google.Scholar]. 
4А. Бахадирханов М.К., Исамов С.Б., Исмайлов Б.К. Безэрозионная 
технология легирования кремния серой и повышение концентрации ее 
электроактивных атомов. // Приборы. 2019. №4 (226) c. 26-28 [05.00.00; № 
63]. 
5А. Бахадирханов М.К., Исамов С.Б., Исмайлов Б.К., Илиев Х.М. 
Кластеры атомов никеля и их диффузия в кремнии. // Доклады Академии 
Наук. 2019. №5. c. 23-28 [01.00.00; № 7]. 
6А. Зикриллаев Н.З., Исмайлов Б.К., Исамов С.Б., Тачилин С.А. 
Повышение термостабильности кремния при формировании кластеров 
примесных атомов никеля. // Физика полупроовдников и микроэлектроника. 
2019. №5. c. 64-71 [01.00.00. № 16]. 
7А. Abdurahmanov B.A., Bakhadyrkhanov M.K., Ismailov K.A., Ismaylov 
B.K., Saparniyazova Z.M. Functional possibilities of silicon with clusters of 
impurity atoms. // Science and Education in Karakalpakstan. 2019. № 1(9) pp. 43-
48 [01.00.00. № 11]. 
8А. Bakhadyrkhanov M.K., Ismailov K.A., Ismaylov B.K., Saparniyazova 
Z.M. Clusters of nickel atoms and controlling their state in silicon lattice. // 
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2018. V. 21, N 4, 
pp. 392-396 [01.00.00. №7].