Portal guldu uz-ярим ўтказгичли Қ

1.7. ЯРИМ ЎТКАЗГИЧЛИ МАТЕРИАЛЛАРГА МЕХАНИК ВА
ХИМИК ИШЛОВ БЕРИШ ТЕХНОЛОГИЯСИ.
Ярим ўтказгичли материалларни қирқиш. Ярим ўтказгичли материаллар
асосан ёмби кўринишда ўстирилади (слиток). Ёмбининг диаметри, вазни,
узунлиги ҳар хил бўлиши мумкин. Ундан ташқари материаллар қаттиқлиги
билан ҳам катта фарқ қилиши мумкин. қирқиш усуллари асосан сим

---

56
орқали қирқиш, олмос юритилган гардиш (диск) орқали қирқиш ва
нисбатан янги усул лазер нури ёрдамида қирқишларга бўлинади. Бу
усулларни ишлатиш давомида асосан қирқиш жараёнида ҳосил бўладиган
чиқиндиларни камайтириш, қирқиш жараёнида пластиналар сифатини
сақлаш ва қирқиш самарадорликни оширишга аҳамият берилади.
Химиявий ишлов бериш. Бу технологик жараён давомида
асосан ярим ўтказгичли материаллар юзасига таъсир қилинади ва улар
қаторига кимёвий ва механик сайқал бериш (полировка), кимёвий тозалаш
(очистка) ва кимёвий емириш (травление) жараёнлари киради. Ишлов
бериш тартиби қуйидагилардан иборат: тагликка ўрнатиш, ювиш ва
шлифлаш (бу жараён катта рақамли абразив кукундан кичкинасига қараб
аста-секин олиб борилади). Сайқаллаш жараёни (полировка) қуйидаги
тартибда олиб борилади. Аввалига намуна тагликка ўрнатилади, кейин
шлифовка жараёнида ишлатилган дастгоҳга ёки алоҳида дастгоҳга юмшоқ
матоҳ (М: бахмал, замш, батист, сатин ва шунга ўхшашлар) тортилади.
Сўнгра намуна матоҳга маьлум босим билан ярим ўтказгичли материал
контактга келтирилади ва маълум тезликда айлантирилади 60-100 айл/мин.
Матоҳ билан намуна орасига таркибида олмос бўлган суспензия (олмос
пасталар асосида тайёрланган қуюқ масса) қуйилади. Ишлатиладиган
асосий олмос пасталар маркалари АСМ 3, АСМ 1 ва ҳоказолар. Ишлов
бериш сифати ва даражаси оптик микроскоп ёрдамида назорат қилинади.
Химик емириш жараёни. Ярим ўтказгичли материаллар сиртида механик
ишлов натижасида ҳосил бўлган деформация бўлган қатламларни соф юза
чегарасигача олиб ташлаш учун ишлатилади. Айрим ҳолларда ЯЎ
қалинлигини камайтиришда ҳам ишлатилади. Химик емирувчилар
(травитель) уч турга бўлинади.
1. Селектив (танловчи) емирувчилар. Булар ёрдамида керакли маълум
кристаллографик йўналишдаги юзаларни, сиртларни чиқариш
мумкин.
2. Сайқалловчи (полируюҳий) емирувчи. Изотропик яъни ҳар хил
йўналишда ўзгармас маълум емириш тезлигига эга бўлган емирувчи.
3. Носелектив емирувчи. Бу емирувчи материал юзасини нисбатан
сайқаллайди ҳамда юзада нотекисликлар ҳам ҳосил қилади.
Емирувчилар тайёрлаш учун химикатлар уларнинг тозалигига қараб
танлаб олинади. Химикатлар тозалигига қараб қуйидаги турларга
бўлинади. Т – техник тоза, ХЧ – химиявий тоза, ЧДА – анализ учун тоза,
ОСЧ – алоҳида спектрал тоза.

---

57