Portal guldu uz-ярим ўтказгичли Қ

1.6. ЭРИТМАДАН ЎСТИРИШ УСУЛЛАРИ
Эритмадан ўстиришнинг айрим усулларини қисқача кўриб ўтамиз.
1)Тўйинтирилган эритмадан йўналтирилган кристаллизация усули. (18-
Расм). Бирикмали ярим ўтказгичлар ўстириш усулларидан бири бўлиб
ҳисобланади. АВ бирикмали ярим ўтказгичли материални ўстириш
учун уч соҳали печдан фойдаланилади. Кварцдан ясалган (олдиндан
ҳавоси сўрилган) ампулага учмайдиган А компонент ва тозаланган
учадиган В компонента киритилган. Ҳавоси сўрилгандан сўнг, ампула
беркитилиб уч соҳали печга киритилади. Печнинг ҳарорати Т
1
дан
эритмада В компонентанинг маълум буғ босимини ҳосил қилиши учун
Т
2
гача кўтарилади. Учинчи печнинг ҳарорати Т
3
бўлиб, у иккинчи печ
билан Т
2
-Т
3
градиент ҳосил қилади. Контейнерни маълум тезликда
механик
силжитиш 
натижасида 
Т
2
-Т
3
градиент 
таъсирида
йўналтирилган кристалланиш жараёни ҳосил қилинади.
2) Градиентли соҳали ўстириш усули. Бу усул асосан аввал синтез
қилинган поликристалл қуймаларни монокристаллга айлантириш ҳамда
эпитаксиал қатламлар олиш учун ишлатилади. Ўстириш қурилмаси
конструктив бирлаштирилган икки қисмдан иборат бўлади. Ўстириш
учун таглик вазифасини бажарадиган ярим ўтказгич жойлашган соҳада
бир жинсли ҳарорат олиш вазифасини бажарувчи биринчи печ ва
юқорида жойлашган иккинчи печ вазифасини бажарувчи иситиш
лампаси (нур қайтаргичи билан бирга)дан иборат (19-Расм). Иккинчи
печни ёқиш натижасида ярим ўтказгичли таглик устида юқорироқ
ҳарорат ҳосил бўлади, яъни аввалига Т
1
бўлган бўлса, таглик юзасида Т
2
ҳосил қилинади ва айирма Т
2
-Т
1
га тенг бўлади ва биринчи усулга оид
жараёнлар ҳосил бўлади.
Ноизотермик эпитаксия усули. Усулнинг асосий ғояси маълум бир
ҳароратда ярим ўтказгичнинг маълум эритувчи ёрдамида эритмаси
тайёрланиб олинади ва у туйинтириш ҳолига олиб келинади. Сўнгра
ўстириш учун олинган таглик билан эритма контактга келтирилади ва
аста-секинлик билан маълум тезликда совитилади (17-Расм)

---

55
Расм 17. Ярим ўтказгичли бинар бирикмаларни ноизотермик эпитаксия усули
билан кўп қатламли қилиб ўстириш усули. Натижада эритмадаги ярим ўтказгичли
материал қатлами таглик устига уни тузилмасини такрорлаб ўсади. Етарли
қалинликка эга қатлам олингандан сўнг эритма таглик устидан олиб ташланади ва
ўсиш тўхтатилади. Сўнгра қурилма уй ҳароратига қадар совитилади. Бу усул
билан оддий (Si, Ge ) дан бошлаб бирикмали (GaAs, GaP, InP ва шуларга ўхшаш)
материалларни олиш мумкин.