Казанский

лительной системы ВУП-5МВ:


 остаточное давление в камере, создаваемое диффузионным насо-сом при охлаждении ловушки азотом, 1,310^-4 Па;
 время откачки 30 мин;

48

 максимальное напряжение ВЧ- генератора 3 кВ;  частота ВЧ- напряжения 13,56 МГц;
 максимальная мощность ВЧ- генератора 600 Вт;  температура подложек до 1000°С;
 время нагрева подложек 30 мин.

Управление магнетронной системой ВУП-5МВ осуществляется с пульта управления. С пульта обеспечивается выход в рабочий режим вакуумной системы и ее коммутация, а также подогрев подложек, управление систе-мой напуска и ВЧ- генератором в процессе осаждения. Схема вакуумной коммутации ВУП-5МВ приведена на Рис.17.

Рис.17. Схема вакуумной коммутации ВУП-5М-ВЧ: CN - рабочий объ-ем; V1, V2 - вакуумные клапаны ручного привода; NL - насос форвакуумный; ND- насос диффузионный; V3, V4 - вакуумные клапаны электронного управления; BF - баллон форвакуумный; P1, P2 – датчики давления термопарные ПМТ-1; РЗ-датчик дав-ления ионизационный ПМИ

Приготовление мишеней

Исходными продуктами для создания мишеней сложного состава яв-

ляются составляющие компоненты в виде порошков.

Перед формированием мишени рассчитываются необходимое молярное

49

соотношение компонент. Рассчитываются веса компонент, необходимые

для получения многокомпонентной мишени толщиной ~2 мм, с учетом ко-

нечной пористости мишени около 15%. Для круглой мишени диаметром 40 мм этот объем составит ~2 см³.
Далее компоненты взвешиваются в необходимом весовом соотноше-нии, тщательно перетираются в ступке и перемешиваются механической мешалкой в течение 1 часа.
Формовка мишеней в виде дисков диаметром 40 мм и толщиной ~2 мм производится в разборной пресс-форме путем холодного прессования.
Сформированная мишень-таблетка отжигается в вакууме при Т~1000°С в течение 5 часов, затем мишень снова перетирается, формуется и подверга-ется окончательному отжигу при той же температуре.