Казанский

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ

ВЧ магнетронная распылительная система ВУП-5МВ

Модернизированный вакуумный универсальный пост ВУП-5МВ пред-

назначен для осаждения пленок металлов, полупроводников и диэлектри-

ков методом ВЧ магнетронного распыления.

Прибор состоит из двух частей - вакуумной и электрической. В вакуум-

ной стойке размещены: вакуумная система, система напуска газов, распре-

делительный щиток и электропитание для подогрева подложек. В верхней

части стойки смонтирован пульт управления.

Электрическая стойка состоит из источника ВЧ-напряжения, блоков пи-

тания и управления. В рабочем объеме устройства смонтирована магне-

тронная распылительная система, схематическое изображение которой

47



приведено на Рис.16.


Рис.16. Схема установки осаждения: 1 - магнетронное устройство; 2 -мишень; 3 - подложка; 4 – подложкодержатель - печь; 5 - заслон-ка; 6 - системанапуска; 7 - системаоткачки; 8 - анод-экран

Перед осаждением на катод магнетрона (1) с помощью электро-

термопроводящего клея устанавливается мишень (2) из распыляемого ма-

териала. Подложки (3), на которые осаждаются пленки, крепятся на под-

ложкодержателе печи (4). Температура подложки контролируется хро-

мель-алюмелевой термопарой. Исходный вакуум для предварительной очистки рабочей камеры доводят до 210^-4 Па диффузионным насосом. С помощью электронной системы напуска через ввод (6) производят напуск рабочего газа (обычно Ar) или смеси газов. ВЧ- напряжение подается на катод МРС с генератора ГВЧ-0,5-13,56-86 через ВЧ- вакуумный ввод.

Основные параметры и характеристики ВЧ магнетронной распы-